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维普资讯 1994正 蚀 细 加 工 技 术 № ．3 蕈 3期 M~~rofabricationTechnologT 1994 垴～s1 准 分 子 激 光 的 应 用 凸 冯伯儒 了 _2斗／ (中国科 学院光 电技术研 究所，成都610209) 【摘要】表文介绍 7准分子激光器的基拳熹型，主要应 用领域厦其与材料相互 作 甩的机理 。对准分子激光在 电子工业、生物 医学和材料加工方面的一些重要应 用 儆 了比较详细的论述。 关键词；准分子激光器，材料加工 ，激光应用 筋触 应 1 引 言 准分子激光器 的出现和发展，为广泛的科学研究和工业应用提供 了强有力 的工具 由于 其波长为紫外和深紫外光谱波段，强的脉冲能量和光子能量，高的重复频度，窄的脉冲宽度 等性能，大多数金属和非金属材料对紫外光都具有强烈的吸收，所 以近年来随着准分子激光 器性能和可靠性、稳定性的提高，使它们得到了广泛 的应用。 在微电子工业中以准分子激光器作为光源的深紫外投影曝光已经获得成功藏用，使光刻 分辨率提高到约0．31~mt在工业方面，材料加工，钻孔，刻蚀，选择性材料 去 除，低 温 退 火，掺杂，低温化学气相沉积，绝缘层剥离，印刷 电路版制作，激光标记，无掩摸光刻 ，光 栅写入，液晶，传感器以及生物医学、遗传学诸方面都有广泛的直用。可加工的材料包括金 属、陶瓷，塑料，玻璃，纸张等有机和无机材料 。 2 准分子激光主要类型及技术指标 由于准分子激光波长短，在普通加工中易得到微米级，甚至亚微米分辨率 大多数材料 对深紫外光高度吸收，可以用较低能量密度 (O．5—1OJ／cm )烧蚀，侧如每个脉冲 可烧 蚀 掉几分之一微米厚的材料层，对于材料去除可以高精度控制 。以往，波长1—10m的红外激 光加工大多为 “热”加工，热效应迅速 向纵深扩散，使加工某些高反射金属材料尤为困难， 而且热熔解、流动及凝结，使加工产生的残留物也难以去除，严重影 响加工精度，使材料变 形，光洁度变差，产生 热 应 力 等。而准分子激光为 “冷”加工， 由于其光子 能最大 输入 收稿 日期tl口9一‘04一 I 43 维普资讯 能量密度较低，脉冲窄作用时间短，加工时不影响周围材料，材料去除量易 控制， 残 留 物，新 以在许多精密加工领域，如微机械、微光学、微_电子和医学生物微元件的加工涛面极 为有利，而且准分子激光可以完成用机械、化学或其它激光加工方法无法完成的任务。 准分子激光器 目前有单级振荡型、多级振荡一放大型，调谐型、双色型和频 带 压 窄型 等。 。 ：-_ 3 准分子激光材料~g-[-机理 对于材料加工，准分子激光具有理想的波长和强激光脉冲功 率 (10—20MW )这 种 短 波长光子足以激发直接 与化学键产生相互作用，引起迅速的离解和材料去除，其作用机制不 同于1— 10m波长的红外激光加工。 准分子激光脉冲入射 到材料表面，可以采用接触掩模或掩模投影成像的方法确定图形。 由于大多数的有机材料强烈吸收紫外光，光子在很薄的材料 表 层 (约0．5一Im深)内 引起键的迅速断裂 。当光子密度足够高，以至于键断裂速度超过复合速率，以及大的有机分 子迅速离解为小尺寸成份时