简介真空计VacuumGauge又称规是测量真空度或气压的仪器.PDF

简介 真空计（Vacuum Gauge），又称规，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不 同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛 使用。 编辑本段分类原理介绍 按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类， 分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。 利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体 动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子 效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。 波尔登规（Bourdon） 波尔登规 如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转， 使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。 这种规的测量范围一般在100Pa 至1atm。 薄膜电容规 薄膜电容规 如右图所示，在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜 片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的 变化。 这种规的测量范围一般横跨4 个量级，比如可能是0.01Pa 至100Pa、0.1Pa 至 1000Pa 等。 这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以 消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。 皮拉尼电阻规 皮拉尼电阻规 如右图所示，由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流 时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导 致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。 如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。 这种规的测量范围一般在0.1Pa 至1000Pa。 由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标 定。 热电偶规 热电偶规 如右图所示，热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电阻 的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。 测量范围一般与在0.1Pa 至1000Pa。 与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。 热阴极电离规 热阴极电离规 如右图所示，热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分 子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的 大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。 这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa 至0.1Pa。 经改进后的热阴极电离规，Bayard-Alpert 规，可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。 由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下 进行标定。 冷阴极电离规 冷阴极电离规 如右图所示，冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压 测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。 这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa 至0.1Pa。 与热阴极电离规同样的原因，这种规在使用时需要在不同气体下标定。 编辑本段量程范围 在较高压力时(10～1Pa)利用压力差U 型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹 簧管压力计等。 在10～10Pa 的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮 氏计、粘性真空计。 在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。 表2 真空计的适用压力范围[1] 产品型号 ZDO-54D ZDO-53B 5 -1 3 -1 测量范围 1.0×10 ～1.0×10 （Pa） 1.0×10 ～1.0×10 （Pa） 4 0 2 -1 有效范围 3.0×10 ～1.0×10 （Pa） 4.0×10 ～1.0×10 （Pa） 5 4 3 2 参考范围 1.0×10 ～ 3.0×1