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■成果報告
行政院國家科學委員會補助專題研究計畫
□期中進度報告
非接觸式高精密平台之設計與控制應用
Design and Control Applications of High Precision Contact-Free Stage
計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫
計畫編號： NSC 96 －2628 －E －006 －229
執行期間：95 年 08月
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