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Semiconductor optical singlephoton detectors(半导体光singlephoton探测器)
1
Semiconductor optical single-photon detectors
Jie Zhang
Abstract—Avalanche Photodiodes (APDs) connected with II. SEMICONDUCTOR OPTICAL SINGLE PHOTON DETECTOR:
quenching circuits can be used for single photon detection. This STRUCTURE AND QUENCHING CIRCUITS
semiconductor photon detector has a better performance than
photomultiplier. The principles and applications of APDs are A. Structure
presented. Features, performance of different commercial devices A schematic cross section of the fabricated Avalanche
are introduced and compared. Recent research progress based on Photodiodes is shown in Fig. 2. In order to avoid edge
the improvement of quenching circuits are introduced. breakdown, a guard-ring surrounding the p+ implantation has
been implemented using a p-tub layer inside a deep n-tub
Index Terms—Avalanche photodiode, Geiger mode,
available in this fabrication processes. The p+ and n+
single-photon avalanche diode (SPAD)
implantation will surely make the depletion area narrower than
before, therefore got a stronger electric field and then a more
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