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Semiconductor Equipment Assessment(半导体设备评估)
Semiconductor Equipment Assessment
An enabler for production ready
450 mm equipment
Outline
• Introduction
• History of SEA - Semiconductor Equipment Assessment
• Semiconductor Equipment Assessment
• Assessment Activities - Examples
• 450 mm Equipment Assessment
• Summary Outlook
Introduction
SEA programs proven principle:
• Take novel, innovative and promising equipment, that has left the RD
phase, into a joint assessment activity
• Collaboration of equipment supplier, end-user and research institute to
perform assessment experiments for one specific equipment and finally
develop the equipment according to the end-user’s specifications
• Bridge the well-known gap between the phase of having an engineered
tool available and finding the “first user” for it
Outline
• Introduction
• History of SEA - Semiconductor Equipment Assessment
• Semiconductor Equipment Assessment
• Assessment Activities - Examples
• 450 mm Equipment Assessment
• Summary Outlook
Semiconductor Equipment Assessment
S
E
1997
A
P
r
o
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c
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