利用电子衍射方法标定多晶纳米薄膜结构参数-复旦大学物理教学试验.pptVIP

一、项目简介项目背景 创新思路 1） 传统方法： 抽真空(机械泵、扩散泵，~10-3 Pa ) → 蒸发镀膜 → 暗室下装胶片 → 电子衍射 → 取胶片 → 冲洗, 晾干 →直尺测量 采用CCD成像 ，借助Photoshop获取图像的像素信息进行测量，通过Excel进行数据处理。 劣势： 不方便多次测量消除误差[7]， Photoshop只能用于测量[6]，Excel只能用于计算。 用离子溅射镀膜机代替蒸发镀膜，分别制备了500埃，100埃的银膜 。 用CCD采集图像，分别在30KV和40KV的高压下采集图像，得到较清晰的衍射环进行数据处理。 开发了兼图像与数字处理为一体的电子衍射程序，利用计算机强大的计算功能进行图像处理和数值分析 用离子溅射镀膜机较准确的控制膜厚，根据需要制备理想厚度的薄膜，衍射条纹更明显 省去换底片及冲洗照片的环节，节省时间 方便计算机处理 多次手动取圆环三点坐标测直径并取平均值法消除误差，提高测量精度 二、实验 完成新的实验系统的搭建和调试 完成实验用软件的编写 编写新的实验讲义一份 实验系统改进 传统的电子衍射实验系统 改进后的实验系统 CCD参数 最高分辨率：2048×1536 象素尺寸： 3.2um×3.2um 传感器类