Tuning the convergence angle for optimum （优化最佳的收敛角）.pdfVIP

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2017-09-03 发布于浙江
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Tuning the convergence angle for optimum （优化最佳的收敛角）.pdf

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Tuning the convergence angle for optimum （优化最佳的收敛角）

Tuning the convergence angle for optimum STEM performance M.Weyland and D.A. Muller Introduction Cornell University, Department of Applied and Engineering Physics, Ithaca, NY 14853, USA Scanning transmission electron microscopy (STEM), and in particular high angle annular dark field (HAADF) “Z-contrast” STEM, is becoming a key tool in the resolu- tion of structural and functional problems at the atomic A B S T R A C T scale. The reasons for this are varied but the most com- pelling are the combination of the high resolution, on the order of an Angstrom, and the interpretability of The achievable instrumental performance of a scanning the image contrast, which is strongly sensitive to the transmission electron microscope (STEM) is determined atomic number of the scattering atoms and the mass- by the size and shape of the incident electron probe. thickness of the specimen[1-4]. While there are a large The most important optical factor in achieving the opti- number of factors that control the ultimate per