连续离子层吸附反应沉积后硫化法制备柔性铜锌锡硫薄膜-物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 1 (2014) 018801 连续离子层吸附反应沉积后硫化法制备柔性铜锌 锡硫薄膜太阳电池 孙凯文 苏正华 韩自力 刘芳洋 赖延清 李劼 刘业翔 1)(中南大学冶金与环境学院, 长沙 410083) 2)(新南威尔士大学光伏与可再生能源工程学院, 悉尼 2052) 3)(深圳高性能电池材料与器件工程研究中心, 深圳 518057) ( 2013 年7 月18 日收到; 2013 年9 月21 日收到修改稿) 在柔性钼箔衬底上采用连续离子层吸附反应法(successive ionic layer absorption and reaction) 制 备ZnS/Cu SnS 叠层结构的预制层薄膜, 预制层薄膜在蒸发硫气氛、550 C 温度条件下进行退火得到 Cu ZnSnS 吸收层. 分别采用EDS, XRD, Raman, SEM 表征吸收层薄膜的成分、物相和表面形貌. 结果 表明, 退火后薄膜结晶质量良好, 表面形貌致密. 用在普通钠钙玻璃上采用相同工艺制备的CZTS 薄膜表 征薄膜的光学和电学性能, 表明退火后薄膜带隙宽度为1.49 eV, 在可见光区光吸收系数大于 cm, 载流子浓度与电阻率均满足薄膜太阳电池器件对吸收层的要求. 用上述柔性衬底上的吸收层制备Mo foil/CZTS/CdS/i-ZnO/ ZnO: Al/Ag 结构的薄膜太阳电池得到2.42% 的效率, 是目前报道柔性CZTS 太阳电 池最高效率. 关键词: 柔性薄膜太阳电池, 铜锌锡硫(Cu ZnSnS ), 连续离子层吸附反应法, 硫化热处理 PACS: 88.40.H–, 88.40.jn, 81.15.Lm, 88.40.hj DOI: 10.7498/aps.63.018801 In, Ga 稀贵元素的使用, 制约了其大规模推广和应 1 引 言 用5 6 . 铜锌锡硫(Cu ZnSnS , CZTS) 薄膜由于原 料来源丰富且环境友好, 被认为是一种新型的、具 柔性薄膜太阳电池具有质量轻、可弯折、不怕 有良好发展潜力的光吸收层材料. 它具有与CIGSe 摔碰、重量比功率高等优点, 这使得它在便携式设 类似的晶体结构, 禁带宽度为1.4—1.6 eV, 光吸收 备、光伏建筑一体化和空间电源等应用领域具有巨 系数大于10 cm, 具备薄膜太阳电池光吸收层材 大优势. 柔性太阳电池的另一个重要的优点是可以 料需要的良好光电性能. 目前, 以CZTS 为吸收层 采用卷对卷连续式沉积, 可以实现大规模生产, 显 著降低生产成本. 这些优异的性能吸引着