电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的-物理学报.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 / / $$/ / ， ， ， XM? 9/ :M 9/ O2B $$/ （ ） !$$$=(Q$R$$/R/ $/ R!/(=$/ ,*S, 1TUVW*, VW:W*, !$$/ *G5 9 1GB. 9 VMJ 9 ############################################################### 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度 及电子温度的测量! ）） ） ） ! ! ! # 陈 卓 何 威 蒲以康 !）（清华大学工程物理系，北京 !$$$% ） ）（北京理工大学物理系，北京 !$$$%!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$ ’ % $$ % ($ 测量了电子回旋共振（ ）氩等离子体中 的 亚稳态粒子数密度，在气压为 — 、功率为 — )*+ ,- !. $ 0 $ 0% 12 /$$ / 的范围内，利用吸收光谱法测量了 原子 谱线的吸收强度，得到 亚稳态粒子数密度为 !/ — 3$$4 ,- %!!0/ 56 !. ! 7 !$ / !/ 8 ( 本文综合考虑基态和 亚稳态粒子的激发对 发射谱线强度的贡献后，用两条发射谱线强度之比 7 !$ 6 9 !. ,- / 得到电子温度 结果表明，计入了 亚稳态激发的贡献后，所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温 9 !. / 度相比存在较大的差别9 关键词：光谱法，亚稳态粒子数密度，电子温度， 等离子体源 )*+ ： ， ， !## /3$: /3$; /$ 密度和基态粒子数密度，〈’ 〉（） 为激发速率常