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维普资讯 A1CN太 阳能选择性吸收薄膜光学常数测定 刚健秀华 张建V任家生 (东南大学 电子工程系 南京 210096) 。摘要 本文讨论了太阳能选择性吸收薄膜 AICN 各膜层的光学常数谱 ，l(A)与 k(A)的测定方法。用分 光光度计测量各膜层的反射率谱 Ro(A)，运用 K—K关系 ，获得 ，l(A)与k(A)的谱值 。最后用 台阶仪测定各膜 层 的厚度 ，用分光光度计测 出透射率谱 T。(A)。运用 Hadley方程 ，计算 出反射率谱 R。(A)和透射率谱 丁。 (A)，其值与分光光度计的实测值 吻合 。 关键词：奎里簦陛量丝墼些堕 匡缝 垄塑兰 堂兰堂墼 中图分类法 ：01484．4 TN207 ，、 ， 太阳能利用领域中的高吸收、低发射的选择性吸收薄膜是由光学性能渐菱的多层膜系 组成的。在进行膜系设计时，一般通过 以下两个步骤进行 ：(1)分别测定各膜层的厚度 d及 光学常数折射率n(A)与消光系数 五(A)的谱值 ；(2)由测定的d和n(A)、五(A)运用Fresnels等 效系数法，计算出整个膜系的反射率谱R(A)，并由此确定整个薄膜的太阳光谱吸收率a。 各膜层光学常数谱 n(A)与k(A)的测定往往是一项相当繁琐的工作。文献 (1)报导了利 用椭圆偏振光谱仪测定各膜层的椭圆参数△，(A)及 驴，(A)值，然后采用统计试验计算法，在 计算机上演算出n(A)和k(A)的谱值 。文献 (2)和 (3)则分别测定各膜层的反射率谱 R(A)，透 射率谱 丁(A)及厚度 d，然后运用 Hadley方程，在计算机上反演寻优。当所计算出的n、k值 较小时 ，尚需进行修正。最后才能求出各膜层准确的n(A)和k(A)的谱值 。上述两种方法显然 都存在测试参数多 ，数据处理量大的缺点。 我们知道，每一对宏观光学常数 (如折射率 n与消光系数 k，介 电常数的实部 ￡。和虚部 ￡z，以及振幅反射系数 y与相位函数 垂)之间是存在某种 内在联系 的。基于某种微观物理模 型，解出上述这些量的表达式，可以找到它们之间的内在联系。但是不依赖于具体的物理模 型，从这些物理量的基本性质及基本物理条件出发 ，运用数学方法也可以推导出它们之间的 函数关系和 内在联系 ，这就是所谓 的克喇末一克朗尼格 (K—K)色散关系 t‘-。本文通过测量各 膜层的反射谱R(A)，运用K—K 关系，推导出n(A)和 k(A)的数学表达式 ，从而简化-Ji~1量与 计算过程。 2 选择性吸收薄膜的构成和测试原理 (1) A1CN太阳能选择性吸收薄膜的结构如图 1所示。它由玻璃基片上相继沉积的五 维普资讯 -． 282_ 电．子 ．嚣 件 。第21卷 层膜构成 ：最下面是一层非反应溅射沉积的足够厚的(200llm左右)铝金属膜。其上是反应 溅射制备 的成份渐变的四层 AICN 薄膜 ，按从底层到表层 的顺序，A1的含量逐渐减少，而 CcN2AN3A1CN： 蕊登 怒 AI~CN-， Al 一 ， IC 一 ， - ：4 ’、 ：一 、’ 。-。} … ～ ” ㈡ 一、 。 一 奄气 ¨ lf．f·l小 l}．I1． 哺 光 图 1 AICN太 阳能选择性 吸收 图2 UV-365型分光光度计的 薄膜的结构示意图 测量原理困 (2) UV-365型分光光度计的测量原理 (图2)。 入射光经反射镜 1以近似垂直入射角度入射到样品上 ，从样 品上反射的光经反射镜 2 进入分光器和检测器。测量时先把标准样品放在测量架上 ，测出其反射光强 。，再换待测样 品测出其反射光强 o，则待测样品的反射率 R。= (，。／I。)R。，R，是标准