引线键合高频超声换能器的设计和键合头运动控制的分析研究.pdfVIP

中文摘要 旨在提高引线键合设备的速度、封装质量和超声能量的转化效率，本文针对 引线键合用高频超声换能器设计方法和实验测试作了详尽研究，同时探讨了键合 头运动控制系统的搭建和调试。全文工作和取得的成果如下： 口根据振动和波动理论建立聚能器和换能器的数学解析模型，推导出其频率方 程，通过机电等效原理，建立了压电换能器系统的机电等效电路，为换能器 拓扑模型的设计提供了理论依据。 口利用上述解析方法，求解出换能器的初始几何拓扑模型，借助有限元分析软 件ANSYS对换能器的各组成部件以及换能器整体作谐振特性分析，并综合考 虑各组成部件对换能器性能的影响规律，通过参数化建模方法进行优化设 计，最终建立了压电换能器的最优模型。 口借助阻抗分析仪对所设计的压电换能器进行阻抗特性测试，结果表明，实验 与有限元分析有很好的一致性。 口对引线键合头运动部件作动力学模态分析，提取其在一定频率范围内的振动 形式，并深入探讨了这些振动形式对键合过程的影响，为键合头的结构优化 和控制提供参考。 口搭建了由旋转音圈电机驱动的键合头运动系统，并利用ELMO驱动器软件 Composer对键合头的自由旋转状态性能作了深入研究，得出键合头部运动系 统的性能指标。 以上工作对于推动引线键合设备发展，拓展其在集成电路制造业的应用具有 重要意义。 关键词： 超声换能器，动力学分析，阻抗分析，键合头，运动控制 ABSTRACT Aimedat the and ofwirebonderandconversion improvingspeedquality ofultrasonic for designinghigh—frequency efficiency energy,amethodology arealsostudiedindetail． is andthe tests ultrasonictransducers proposedexperimental ofbondhead．The involvesinthestructureandcontrol Atthesame design time，it achievementshavebeen worksand accomplished． following ofultrasonic wave model 口Basedonvibrationand theory,theanalytical both concentratorandtransducerare formulated，meanwhile，the frequency canbe the betweenmechanicalvibration similarity deduced．Utilizing equations andele