针对并联机构的平面3自由度微动工作台的的分析研究.pdfVIP

基于并联机构的平面3自由度微动工作台的研究 摘 要 本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作 台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链 代替实际的转动副以及压电陶瓷驱动，实现了工作台x向和Y向的微米级位移 以及在x—y平面内的微小转动。 本文对微动工作台的机构设计、运动学、静力学和动力学问题进行了全面 的研究。首先根据课题要求设计微动工作台的结构参数；然后通过工作台的运 动约束条件进行了位姿反解、正解，利用常雅克比矩阵法建立了运动学模型， 并结合闭合回路理论与坐标转换原理得到了一种线性的运动正解模型，侧面验 证了常雅克比矩阵求解的正确性；并在Matlab软件中仿真出微动工作台的理论 工作空间。 论文随后对微动工作台的静力学和柔性铰链的刚度进行了分析，得到了在 静止状态下输入力，力矩与输出力，力矩之间的关系和输出力与驱动位移之间的 关系；并通过拉格朗日动力学方程建立了微动工作台总力矩与输入的加速度、 速度之间的模型；然后通过有限元分析软件Ansys10．0对微动工作台的进行静 态分析，验证其结构设计满足许用应力的要求。 最后。通过设定的实验方案对微动工作台的平面3个自由度的运动进行测 量，并和常雅克比矩阵法及有限元分析法得到的结果做比较，得到实验数据和 常雅克比矩阵法求解结果比较接近。 关键词：微动工作台，柔性铰链，常雅克比矩阵，压电陶瓷驱动器 插图清单 图1．1并联微动机器人……………………………………………………………。4 图2．13RRR并联机构的结构简图及柔性微动工作台的传动机构……………。6 图2-2并联3RRR机构的参数示意图……………………………………………．．9 图2．3柔性铰链转动副、移动副和球面副………………………………………lO 图2-4柔性铰链的参数示意图……………………………………………………11 图2．5并联3RRR平面柔性微动工作台的一条支链……………………………11 图3-l单个柔性铰链的伪刚体模型及3RRR柔性机构的伪刚体模型………。14 图3-2并联3RRR机构的一条支链………………………………………………14 图3．3矿。．的两个可能的角………………………………………………………．16 图3-4并联3RRR机构的参数示意图……………………………………………19 图3．5柔性铰链的运动参数示意图………………………………………………21 图3-6复数的几何空间表示及闭合回路示意图…………………………………22 图3．7并联3RRR平面柔性微动工作台的运动空间…………………………¨：27 图3．8在不同的旋转角度下，微动工作台在x．Y平面内的运动范围…………29 图4．1微动工作台伪刚体模型的受力图…………………………………………30 图4．2柔性铰链的几何结构、受力和变形图……………………………………32 图4．3微元的几何尺寸及受力矩M单独作用图………………………………．33 图4．4柔性铰链伪刚体模型的角度变化示意图…………………………………35 图4．5微动工作台伪刚体模型的角度变化图……………………………………39 图5．1有限元分析的流程图………………………………………………………44 图5．2运动工作台在3个压电陶瓷分别驱动时的应力分析图………………。46 图5．3三个压电陶瓷同时驱动最大位移时的应力分析图……………………．．47 图5．4不同压电陶瓷驱动下的台面及运动传输机构的位移图………………．。48 图5．5压电陶瓷驱动器及其几何尺寸……………………………………………49 图5-6 HPV系列压电陶瓷驱动电源………………………………………………49 图5．7运动传输机构………………………………………………………………50 图5．8测量微动工作台微运动的电感测头放置位置示意图及实物图………．．5l 图5-9压电陶瓷伸长量的感测……………………………………………………5l 图5．10投影仪测量工作台结构尺寸………………………………………………52 图5．11只驱动PZTl或PZT2时运动工作台的位移随电压变化图…………。54 图5．12单独驱动各条支链的运动比较图………………………………………．56 图5．13微动工作台的实验工作空间图…………………………………………．57 图5．14理论工作空问与实验工作空间的比较…………………