ceo2-co3o4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析 methane gas-sensitive property analysis influenced by ceo2-co3o4 nanocrystalline.pdfVIP

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2017-09-03 发布于上海
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ceo2-co3o4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析 methane gas-sensitive property analysis influenced by ceo2-co3o4 nanocrystalline.pdf

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ceo2-co3o4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析 methane gas-sensitive property analysis influenced by ceo2-co3o4 nanocrystalline

　 2016年仪表技术与传感器 2016　　第 11期 Instrument　 Technique　 and　 Sensor No．11　 - CeO CoO 纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析 2 3 4 1 2 曹小荣 ,胡明江 (1.河南质量工程职业学院,河南平顶山　 467000;2.河南城建学院能源与建筑环境工程学院,河南平顶山　 467036) 　　摘要:为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度,以直接沉淀法制备了不同含量CeO 的CeO - 2 2 - Co O 纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO Co O 纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄 3 4 2 3 4 - 膜,采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X 射线衍射仪表征了CeO Co O 纳米 2 3 4 - 晶粒的相组成和微观形貌,利用全自动程序化学吸附仪分析了CeO Co O 纳米晶粒对甲烷的吸附机 2 3 4 理。在气体传感器静态测试系统上,测试了甲烷传感器灵敏度、湿度、温度、动态响应、抗干扰和长期稳定性等特性。结果表明:以Ce30 为敏感薄膜的甲烷传感器灵敏度为98.3%,动态响应时间为11s,恢复时间为8 s。在矿井中连续使用12 个月后,灵敏度衰减了8.5%。表明该甲烷传感器可实现矿井中甲烷气体在线检测。关键词:直接沉淀法;纳米晶粒;敏感薄膜;甲烷传感器;灵敏度 - - - 中图分类号:TP212　　　文献标识码:A　　　文章编号:1002 1841(2016)11 0010 04 Methane Gas-sensitive PropertyAnalysis Influencedby CeO-CoO Nanocrystalline 2 3 4 1 2