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扩散炉常见故障及维护 48所扩散炉 1 按下进舟按钮时,桨不移动 1、桨速度未设置（300MM/MIN、500MM/MIN）； 2、马达驱动器损坏，无法进桨； 3、桨马达损坏或皮带断裂，无法运转； 4、桨传动丝杠两端轴承卡死无法运行； 5、工控机726板损坏，无法传输信号； 2、 无法开机或黑屏 1、触摸屏损坏，无显示； 2、机台未上电，工控机未上电； 3、工控机电源损坏； 3 无法加热 1、加热开关未开； 2、热电偶短路断路保护，检查热电偶有无断路短路，并重新连接或更换； 3、加热端子烧坏，无法加热，重新更换加热端子； 4、加热功率触发板损坏，无法加热，更换触发板； 4 气体流量异常 1、流量计故障，可上下调换检查； 2、压缩空气过低，气动阀无法动作，调整压缩空气大小； 3、气动阀损坏无法动作，更换气动阀； 4、工控机812板元件损坏，更换812板； 5、检查单向阀是否装反； 6、24V直流电源损坏，无法提供电源控制电磁阀； 5 恒温槽温度异常 1、恒温槽内液位低于顶部以下5CM；恒温槽内加入纯水至顶部以下3CM处； 2、恒温槽循环泵卡死，无法进行水循环；更换循环泵； 3、恒温槽制冷片损坏，更换制冷片； 捷佳伟创扩散炉 按上电开关不上电 1 QX01主断路器断开 1检查线路接点有无短路，重新合上 2 R12继电器不工作 2更换同型号的继电器 3 F01熔断器芯熔断 3 更换同型号的5A熔断器芯 4上电按扭开关接触不良 4 检查线路，重新接线 温控器上显示0000 1 热电偶开路 换新热电偶或重新热电偶及导线 2 热电偶与补偿导线接触不良 3 补偿导线与温控器接触不良 系统显示超温报警并自动切断加热电源 1 热电偶开路 1 接好热电偶 2 可控硅烧坏短路 2 换同型号的可控硅 3 温度保护值低于工艺温度值 3 重新设置保护温度 4 可控硅触发板坏 4 更换同型号的可控硅触发板 炉体不升温 1 前面板加热开关按扭失控 1 检查按扭接线或更换 2 可控硅输入保险烧坏 2 更换100A保险 3 触发板上保险烧坏 3 更换同型号保险0.25A 4 炉体加热丝断 4 更换炉体 5 可控硅开路 5 更换同型号可控硅 6 触发板触发电源故障 6 检查来自源柜的+15V电源 捷佳伟创扩散炉 不能自动进出上下舟 1面板上的急停按扭处于按下位置 1 松开急停按扭 2极限，限位开关没复位或损坏 2 检查平移行程开关及上下光电开关 3驱动器与计算机通讯不上 3 检查通讯线路 4 驱动器本身显示报警状态 4 检查或更换同型号驱动器 5 平移，上下步进电机故障 5 检查或更换同型号电机 炉门不能自动开关 1进气压力不够，压力报警 1 调节气压，消除报警 2 PLC与计算机通讯故障 2 检查通讯线路 3 PLC无输出 3 检查PLC及相关线路 4 PLC有输出但继电器没工作 4 检查线路或更换同型号的继电器 5电磁阀或汽缸故障 5 检查或更换同型号的电磁阀或汽缸 6 气路故障 6 检查气路或更换气管 无流量显示 1 减压阀，手动阀没打开 1 打开相应的阀门 2 电磁阀没打开 2 在计算机上打开相应的电磁阀 3 流量计与计算机通讯故障 3 检查线路或更换同型号流量计 Tempress扩散炉 1 TUBE尾气压力偏高 检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭 2 TUBE尾气压力偏低 检查炉管是否存在缺口或裂口 检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大 3 各气路流量异常 检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 检查气路阀气是否损坏 检查气路流量计是否工作正常 4 部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低 检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果有波动，可让工艺做profiling 检查Spike TC是否与炉管接触良好 5 全制程中Paddle TC温度较高或显示1499度 检查Paddle TC接头是否接触不良 检查paddle TC是否损坏 6 DMC通迅错误 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏 7 在制程中卡桨 检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂 8 炉管无法升温 检查温度控制器是否警报 9 R2D机械手在自动或Home中不移动 检查控制Y轴的