立方氮化硼薄膜新研究进展！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 .’ % %$$1 % ， ， ， NP7 -.’ ,P -% XAYG@5G: %$$1 （ ） #$$$3%1$D%$$1D.’ $% D #)(3$ TRUT QV2OWRT OW,WRT !%$$1 R86; - Q8:9 - OP* - 前沿领域综述 立方氮化硼薄膜的最新研究进展! ! 杨杭生 聂安民 张健英 （浙江大学材料科学与工程学系，杭州 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$’ ( %# %$$’ ) ( 立方氮化硼（ ）作为一种在自然界中并不存在的人造材料具有优异的理化特性 在超硬刀具、高温电子器 *+, - 件和光学保护膜等领域有着广泛的应用前景，已经成为材料科学的研究热点之一- 但是气相生长高质量*+, 薄膜 仍然还有许多难点需要攻克 在综述近几年 薄膜研究所取得的一些突破性进展后，结合研究现状提出今后可 - *+, 能的主要研究方向- 关键词：立方氮化硼薄膜，压缩应力，异质外延，掺杂 ： ， ， ， !## )’.. %’$/ )’)$ ’##.0 硬钢、冷硬钢等难加工材料 更为诱人的是， 的 - *+, 禁带宽度约为 ，并能进行简单的 型和 型 #C 引 言 ) C( AN E ; 掺杂，使它成为大功率高温电子器件的首选材料- 立方氮化硼（ ）以其特殊的理化性质，在薄 另外， 在大范围波长区间的光线有很好的透过 *+, *+, ［］ 膜应用领域有着巨大的应用前景# - *+, 与金刚石 性，使它在光学窗口镀膜领域也具有潜在的应用前 ［］ 的结构相似，分别由一套 原子面心立方结构和一 景# - + 套 原子面心立方结构沿体对角线错开 的距离 并不存在于自然界中，最初是用高温高压 , #D( *+,