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热场包裹、安装、清扫
1、2 热场的包裹 热场包裹前的准备 平铺碳毡 上、中、下保温筒包裹 切割石墨碳毡 接口处的处理 绑定石墨碳毡 挖测温孔和排气孔 平整石墨碳毡 上部、下部保温用石墨碳毡 清扫石墨碳毡 工具归位 热场包裹前的准备 工具:直尺,钢卷尺,克丝钳,刀具,钼丝,吸尘刷、模具,不锈钢小车 人员佩戴: 洁净工作服、洁净鞋、一次性洁净手套、袖套、防尘口罩 平铺碳毡 将PVC板平铺在地板上,用吸尘刷将表面清理干净,再将石墨碳毡打开铺在PVC板上 上、中、下保温筒包裹 用钢卷尺测量石墨件的高度h(决定碳毡的宽度)和外径d,并根据外径计算石墨碳毡的总长L 上中下保温筒碳毡厚度分别为65mm/75mm/65mm(厚度为10mm碳毡层数分别为6,7,6) 切割石墨碳毡 再根据测量的数据,用钢卷尺和直尺切割石墨碳毡 切割宽度一致,误差±5mm 接口处的处理 接口处一定要超出接口2-3cm 切割接口处要用刚尺竖直接触碳毡,用刀具沿钢尺竖直划下 绑定石墨碳毡 用克丝钳和钼丝将裹好的碳毡捆扎,定型 每隔20cm捆扎一次 挖测温孔和排气孔 用刀具将中保温筒测温孔及下保温筒排气孔对应的碳毡切除 测温孔孔径40mm±5mm,排气孔处碳毡内径为85mm-90mm 平整石墨碳毡 检查碳毡上下沿是否齐平,多余部分用刀具逐层切割,要求上下沿切割面水平 碳毡与保温桶开槽处齐平,保温筒卡口到位且碳毡间不留缝隙 上部、下部保温用石墨碳毡 用切割碳毡的模具分别将上下保温盖间碳毡,上下压片间碳毡,炉底碳毡,导流筒内碳毡切割完整 层数分别为2,2,6,1 清扫石墨碳毡 用吸尘刷将包裹好的上中下保温筒碳毡及切割好的保温碳毡表面清理干净,再有序放置在不锈钢小车上 碳毡表面整齐,无附着物 工具归位 工具,模具等放回指定位置,清理好现场及周围环境 工具归位,垃圾入桶 热场清扫 清洗台清理 打磨石墨件附着物 清理石墨件浮尘 石墨件放回小车 整理工具,清理周边卫生 工具归位,垃圾入桶 清洗台清理 穿戴洁净服,口罩,洁净帽,耐高温手套 打开清洗台吸尘机开关,清理吸尘台表面 吸尘机抽速正常,吸尘台表面清洁 打磨石墨件附着物 依次将待清理的石墨件放到清洗台上 缓慢放置制定小车或作业台上,严禁出现石墨件撞击现象 清理石墨件浮尘 用砂纸或钢刷认真打磨石墨件表面的附着物 石墨坩埚、保温筒及盖板表面无硅料挥发物等附着物. 石墨件放回小车 依次用吸尘刷清洗各类石墨件及碳毡表面浮尘 表面无松散附着的氧化物 整理工具,清理周边卫生 清理完毕的石墨件放到洁净不锈钢小车上 依次放回指定位置 工具归位,垃圾入桶 工具放回指定位置,清洗好清洗台及周围环境 工具指定区域放置,垃圾入桶 热场的安装 工具的准备 热场移至炉台边 安装炉底碳毡,压片,保温桶,电极,护套 装石墨纸、对排气孔 安装加热器 安装中保温桶 降炉筒 校对测温孔 安装电热锥 安装上保温桶 安装托杆 安装埚托,三瓣埚 检查埚转、埚升降及对中 工具的准备 吸尘刷、无尘纸、吸尘管,不锈钢小车、力矩扳手,手电筒,石墨纸,直角尺、工作服,耐高温手套、帆布手套,防尘口罩、酒精 热场移至炉台边 用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉左侧边 平行炉台距离50cm 安装炉底碳毡,压片,保温桶,电极,护套 依次装好石墨电极→炉底碳毡→炉底压片→下保温罩→两侧排气管→炉底上压片下碳毡→炉底上压片→埚杆护套→电极护套→石英护套。 严格按次序 装石墨纸、对排气孔 石墨电极上下接触面放置一层石墨纸 检查接触面是否平整,防止打火 装入下保温筒,再将排气管与下炉筒两边排气孔对正(可用手电筒进行照射查看) 保温筒卡口到位,排气管入槽 安装加热器 将清理后的加热器装好,拧上石墨螺丝 石墨螺丝松紧适度,防止引起打火 因个人力度不同,拧两电极脚的螺丝要由一人来操作 安装中保温桶 将清理后的中保温筒装好,卡口到位。并校正与加热器的间距,要均匀一致 测量四周间距差值≤2mm 降炉筒 打开液压泵,升起炉筒至上限,清洗下炉筒上下的结合部,同时转动炉筒到适当位置。 炉筒定位环与导柱同轴 校对测温孔 下降炉筒降到位后,校对测温孔,对测温孔正视,应看不到碳毡为准。 前后炉次欧陆数值在同一工序不得相差200点 安装电热锥 安装热电锥,将其及对应的密封、玻璃、四氟垫圈按原次序装好 热电锥螺丝松紧适度,连接线接触良好,欧陆信号正常 安装上保温桶 将清理后的上保温罩装好,并卡口接到位 四周入槽,测量盖距为190mm--205mm 安装托杆 用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝 检查托杆不晃动 安装埚托,三瓣埚 依次装好埚托、三瓣埚 确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合 检查埚转、埚升降及对中 打开并检查埚转及埚快速升降 显示值与实际值一致,无卡滞现象 装好后要打开埚转旋转一下,检验三瓣埚与加热器间距是否均匀 测量四周
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