爪型干式真空泵的原理研究.doc

多级爪型干式真空泵原理分析 唐琳 徐曦 朱红梅 （北京朗禾科技有限公司，北京 100054） 摘要： 多级爪型干式真空泵的结构对于其材料消耗、体积、能耗等性能有着非常重要的作用。本文就其原理和国际上最经典的两种结构：螺旋型（德国）、反爪型（英国）做了介绍和对比，并提出了最新的结构：螺旋反爪结构。 关键词：爪型干式真空泵 “螺旋爪型”干式真空泵 “反爪型干式真空泵” “螺旋反爪型干式真空泵” Princple of claw dry pump Abstract： Key words:claw dry pump; newest princple 多级爪型干式真空泵是上世纪末其快速发展成熟的新型真空泵，由于其如下突出优点：泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3帕等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业、并逐年成上升的趋势。 其主要的结构型式有：1）螺旋型 2）反爪型；其结构各有优势，相比较而言反爪型比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上均做到小于600M3/h，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。 本文介绍了北京朗禾科技的最新型结构，结合了以上两种结构的优势，相比较而言有如下优势：更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速。 它更能适合化工、制药、环保等领域的需要。它对爪型干式真空泵的发展和应用起到了巨大的推动作用。 一 、 单级爪泵的工作原理： 如上图所示 排气口 1 转子对 2 泵体3 进气口4 在图一位置 A腔和进气口4接通,随着转子对2的同步反方向运动A腔容积变大,气体就吸入泵内,B腔内的气体也在转子对的作用下得到了逐渐压缩,我们称为吸气过程; 图二位置A腔容积继续变大,继续吸气,同时,B腔的容积在转子对2的同步反方向运动下逐渐变小,运动到和排气口1接通的位置气体通过排气口排到下一级,这个过程一直回持续到图三位置,吸气和排气同时进行,简称为吸排气过程; 在图三位置 A腔达到了最大容积,吸气结束和B腔的容积达到了最小,排气结束.转子挡住了进气口4和排气口1,起到了自动关闭的作用; 在图四位置 随着转子的运转,B腔内没有被排出去的气体和A腔内被吸入的气体混合到了一起,既不吸气也不排气,我们称为过渡过程; 不间断重复以上3个过程，达到了连续不间断抽真空的目的，由于泵腔内无需用水或油等介质，有如下的优势：能抽各种化学气体、特殊不锈钢材料制做的爪泵还能抽腐蚀性气体。在航天、制药、化工、核工业等行业得到了广泛的应用。 二、常见的多级爪泵原理： 1、 螺旋型的结构和性能： a 螺旋型结构的三维示意图： 图一 b 螺旋型结构原理图： 在第一级的排气口1位置，设计一个长长的通道5，以便于第一级排出去的气体能进入第二级的进气口4B.同时，为了保证在第一级排气时，第二级泵体3B开始吸气，所以，第二级的同步转子对比第一级落后一定角度的相位差为a2-a1，通过研究发现a2-a1=30度-120度之间都是合理，最合理的角度还需要进一步研究。第三点，通道5要不能设计得太小。依此方法来设计第三级转子对以及第四级转子对和通道，就会发现各级转子依次沿着转子对旋转的方向落后于上一级，串联在主轴上就呈现了螺旋型布局，称为螺旋型。 其结构有如下优点而被广泛采用: 转子的放置都如上图放置，从上世纪80年代末期欧洲几家企业生产过这样的泵以后，产品在市场方面得到了非常好的反应和使用效果，目前在中国均得到了最广泛的采用。 四级泵结构如图所示，顶盖1 第一级泵腔2 一级转子对3 第一级隔板4 第二级转子对5第二级泵腔6 第二级隔板7 第三级转子对8 第三级泵腔9 第三级隔板10 第四级泵腔11 第四级转子对12 底座13 如图所示 其工作过程是这样的，气体从顶盖1进入沿箭头方向进入到第一级泵体2内，通过第一级转子对3的作用，压缩气体沿箭头方向继续进入第一级隔板4内。分别通过第二级泵腔6，第三级泵腔9第四级泵腔11，气体通过了比较慢长而又复杂的运动。 通过，我们经过大量的实验以及用户的使用，从加工成本和制造方面有如下的缺点：1）第一级隔板4第二级隔板7以及第三级隔板10 中间的气体通道长，不好加工；2）加工完成后气体通道还需要有工艺堵来密封，容易泄漏；3）隔板的厚度较厚，导致泵的长度较长，同样的四级泵比别的干泵要长，重量要重；4）隔板内有死空间，不利于做防腐蚀泵等处理。 从性能和使用方面以下优缺点：1）由于充分利用了爪型干式