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第卷第期年月红外与激光工程利用进行焦平面探测器的柱高度自动统计华桦何凯周松敏胡晓宁中国科学院上海技术物理研究所上海摘要柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺柱高度是评价柱制备工艺水平的基本指标通常的柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面另一方面由于柱表面形貌的微观特性人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确提出了一种更合理可行的柱高度统计方法首先使用激光共聚焦显微镜对柱表面形貌进行扫描再利用软件对扫描数据进行分析以统计柱高度分析时考虑柱表面微观形
第 卷第 期 年 月
43 7 红外与激光工程 2014 7
Vol.43 No.7 Infrared and Laser Engineering
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