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2017-09-05 发布于上海
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mems技术在thz无源器件中的应用 application of mems technology in passive thz-devices.pdf

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mems技术在thz无源器件中的应用 application of mems technology in passive thz-devices

2011年第30卷第7期传感器与微系统(Transducer口d 5 MicmsystemTechnolo出s) MEMS技术在THz无源器件中的应用+ 赵*海1，鲍景富2．杜亦佳2．高杨1．郑荚彬1 (1中国工程物理研究院电子工程研究所。四川绵阳621900 2．电子科技大学，四川成都611731) 摘要：太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率戒像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域，太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米昔级，传统的机械加工技术很难达到加工精度要求，甚至无法加工。MEMS技术在太赫兹器件的加工方面具有巨大的优势。总结了目前采用DRIE，LIGA等工艺加工太赫兹器件的研究现状，包括太赫兹传输波导器件、太赫兹传输线器件、慢波结构和特种复合结构的加工。分析了MEMS加工工艺的优缺点和在太赫兹器件加工中的应用前景。关键词：太赫兹器件；微机电系统；LIGA；深反应离子刻蚀中国分类号：0451；TN432文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)07-0005-05 ofMEMS in THz-devices+ Applicationtechnologypassive ZHAO Xing-hail，BAOJing-fu2，DUYi-jia2，GAOYan91，ZHENGYing·binl ofElectronic of (1．Institute En咖eering，ChinaAcademyEngineeringPhyma，Mianyang621900．China； Science 2．UniversityofElectronicandTechnologyofChina，Chengdu611731，China) for 80far Abstract：ne have been prlrMryapplicationsterahertz(THz)technologyhigllprecisionspectrum on detection communicationet locates technology．supenmsohifionhishperformance a1．THz,。von ima母ng．and thebottlerbetweenfax·IRandsubmilllmeterwhichisstillrathex ofTHzdevicesisfrom blun口．‰dimension severaltenmicrometerstoseveralmillimet