mems振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真 theoretical analysis and numerical simulation of closed-loop self-oscillation system for mems vibratory gyroscopes.pdfVIP

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2017-09-05 发布于上海
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mems振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真 theoretical analysis and numerical simulation of closed-loop self-oscillation system for mems vibratory gyroscopes.pdf

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mems振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真 theoretical analysis and numerical simulation of closed-loop self-oscillation system for mems vibratory gyroscopes

第21卷第8期传感技术学报 V01．21No．8 2008年8月 a佃忆SEJoI瓜NAI，0Fs王NSORSANDAC兀IATORS Aug．2008 TheoreticalandNumericaISimulationof Analysis Closed-Loop for SeIf．osci¨ationMEMS System VibratoryGyroscopes。 wANG历口竹一向，LUW毒咒一邸D，Lf R咒g，LJ历i一^og。， (Jns啦“虮，，胜f埘断fr伽如，№fi彻Z with Abstr神t：We self-oscillationAGC(automaticcontr01)forMEMS analyze system gain vibratorygyro— and and for scopes usingaVeragingphase—planetechniques，presentanalyticalequationssystemdesign． Numericalsimulationsare thesimulationresultsshowa withthe implemented，and goodagreementanalyt— ical Inour drive of results． self-Oscillation stableerrortheoscillation iseliminated system，the amplitude thePIcontroller．The canbeusedtodirectthe ofthe drive by analyticalequations design closed-loopsys— in temhard、Vare． words：Self-0scillation，MEMScontroller Key Gyroscope，AGC；PI EEACC：7630 MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真* 王展飞，鲁文高，李峰，李志宏’ (北京大学微电子学研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室，北京100871) 摘要：对采用AGc(autornaticgaincontr01)控制实现的陀螺闭环自激驱动系统进行了理论分析，利用平均技术和相平面法求解出了MEMS振动陀螺闭环自激驱动系统的起振条件以及幅度稳定条件的解析表达式，并进行了数值仿真验证。在该闭环驱动系统中，通过引入PI控制器消除了振动幅度控制的稳态误差。仿真结果很好地吻合了理论分析，理论分析结果可用于指导自激驱动系统的硬件实现。关键词：自激振荡；MEMs陀螺；A13C；PI控制中图分类号：V241．5 文献标识码：A 文章编号：lOO}1699(20明)08一1337一06 MEMS振动陀螺的基本工作原理是建立在科线性控制环路)睁7|。两者的主要区别在于，单闭环氏效应的基础上的[1]。陀螺的一个重要的性能指标驱动的唯一输入为系统的噪声，陀螺在噪声干扰的就是标度因子，也就是每单位角速度输入变化量对作用下自激起振，而双闭环驱动的驱动源为锁相环应的陀