拉晶工艺标准.docVIP

目的 将硅多晶或者硅单晶转变成客户需要的硅单晶。 二．适用范围 上海汉虹精密机械有限公司生产的FT-CZ1806型单晶炉以及FT-CZ2008型单晶炉。 使用设备及工具 ·FT-CZ1806型单晶炉或者FT-CZ2008型单晶炉、空气压缩机、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、氩气中含氧量监测仪 ·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 材料 ·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、塑料袖套、一次性口罩 ·无尘纸 、乙醇 环境要求 洁净房 重要工艺参数 见《工艺参数卡》 FT-CZ1806以及FT-CZ2008型单晶炉面板介绍 图1《手动状态操作画面》 1.图片说明 1.1.“手动菜单”所指的红色区域所显示的是对应于其右边的【籽晶】、【泄漏检查】、【氩气】、【压力】、【加热器】、【坩埚】按钮的其中一项，其显示的内容就是对于对应项目的具体操作的控制按钮。 1.2.“炉台状态参数显示”所指的红色区域所显示的是炉体所处的状态，包括了上下炉体的压力、加热器的温度以及功率、电流、电压、氩气流量等等。 1.3.“控制状态显示”所指的红色区域所显示的是炉台所启用的控制，红色的代表此项控制正在作用，灰色代表此项操作此刻不在作用。 1.4.“籽晶状态显示”所指的红色区域所显示的是籽晶运动的参数，包括了籽晶的高低拉速、籽晶的转速、籽晶位置等等。 1.5.“坩埚状态显示”所指的红色区域所显示的是坩埚的运动参数，包括了坩埚的高低升速、坩埚转速、坩埚位置等等。 1.6.“控制按钮”所指的红色区域所显示的是几个控制按钮。 拉晶作业步聚 1.热场组立 1.1.按照FT-CZ1806和FT-CZ2008各自的《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。 ※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。 1.2.将钢皮尺置于石墨中轴上，如图1中点击【坩埚】,弹出坩埚控制菜单。在“旋转速度”中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【开】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。 1.3.将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm，并尽量同心。 1.4.将导流筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。 1.5.将碳毡导流筒放置在石墨导流筒之外，不要将石墨导流筒的位置变化。 1对中中轴与加热器同圆心 2对中加热器与石墨坩埚 3对中导流筒与石墨坩埚 组图2：以FT-CZ1806型热场展示对中过程 2.石英坩埚的安装 2.1.将石英坩埚的合格证取出，贴附在拉晶记录上。 2.1.戴上一次性手套，拿出石英坩埚，在灯光下确认石英坩埚有无伤痕、裂纹、气泡、黑点。 ※确切的要求参照我们对石英坩埚供应商的来料要求。 2.2.插入石墨坩埚内，比较石墨坩埚与石英坩埚的高度，确认并调整水平 2.3.石英坩埚安装好后，设定坩埚转速8 rpm，确认石英坩埚在转动时不会晃动方可。 1检查石英坩埚 2装入石英坩埚 3调整石英坩埚放置的水平 3.掺杂剂的装入 3.1.确认掺杂剂料包上所写的重量与拉晶指示书上的数据是否一致。 3.2.带上一次性的手套，将装有掺杂剂的料包在石英坩埚的上方且低于石英坩埚口的位置打开，并抖动装料纸使掺杂剂全部落入石英坩埚中。 1掺杂剂的装入 4.硅材料的料装入 4.1.先戴好口罩，确认帽子塞入衣服领子内，头发没有露在帽子外面，衣服拉链全部拉到位；一手戴2层一次性手套，拎材料袋，另一只手戴上塑料袖套、防静电手套，再戴上3层一次性手套，进行装料作业。 4.1.1.装料前，尽量留出5～10kg拳头大的多晶最后装 4.1.2.底部堆放时材料以尽量大的面积与坩埚接触，约过3/4后以点接触为佳 4.1.3.在距石英坩埚口10cm以下装料时，要注意装料密度，装料密度太小，可能造成多晶装不完或是堆在石英坩埚上太高，化料时容易造成多晶滑出石英坩埚，酿成事故；而装料密度太大，特别是有大块头尾料时，化料时可能把坩埚胀裂或是架桥。 4.1.4.在装料时，多晶之间不能有太多的的间隙，应该根据多晶的形状，轻轻地摆放紧凑，但决不能不能把多晶压得过紧，要让多晶有一定的滑动性 4.1.5.整块头尾料要装在离坩埚底5～10cm处，整块头尾料之间以及整块头尾料与石英坩埚之间要有至少5mm的间隙 4.1.6.在距石英坩埚口10cm处以上，装料应