a high temperature capacitive humidity sensor based on mesoporous silica高温电容式湿度传感器基于介孔二氧化硅.pdfVIP

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2017-09-05 发布于上海
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a high temperature capacitive humidity sensor based on mesoporous silica高温电容式湿度传感器基于介孔二氧化硅

Sensors 2011, 11, 3135-3144; doi:10.3390/s110303135 OPEN ACCESS sensors ISSN 1424-8220 /journal/sensors Article A High Temperature Capacitive Humidity Sensor Based on Mesoporous Silica 1, 2 3 3 Thorsten Wagner *, Sören Krotzky , Alexander Weiß , Tilman Sauerwald , 3 4 1 Claus-Dieter Kohl , Jan Roggenbuck and Michael Tiemann 1 Department of Chemistry, Faculty of Science, University of Paderborn, Warburger Str. 100, D-33098 Paderborn, Germany; E-Mail: michael.tiemann@upb.de 2 Max-Planck-Institute for Solid State Research, Nanoscale Science Department, Heisenbergstr. 1, D-70569 Stuttgart, Germany; E-Mail: s.krotzky@fkf.mpg.de 3 Institute for Applied Physics, Justus Liebig University, Heinrich-Buff-Ring 16, D-35390 Giessen, Germany; E-Mails: alexander.weiss@ap.physik.uni-giessen.de (A.W.); tilman.sauerwald@ap.physik.uni-giessen.de (T.S.); kohl@physik.uni-giessen.de (C.-D.K.) 4 Institute of Inorganic and Analytical Chemistry, Justus Liebig University, Heinrich-Buff-Ring 16, D-35390 Giessen, Germany * Author to whom correspondence should be addressed; E-Mail: thorsten.wagner@upb.de. Received: 30 January 2011; in revised form: 20 February 2011 / Accepted: 25 February 2011 / Published: 14 March 2011 Abstract: Capacitive sensors are the most commonly used devices for the detection of humidity because they are inexpensive and