硅微谐振式加速度计电路技术的分析研究.pdfVIP

捅要 捅要 本文研究了硅微谐振式加速度计的驱动和检测理论与方法，目的在于设计控制与检 测电路，实现谐振式加速度计的闭环驱动和频率检测。主要内容包括信号提取接口电路 和闭环驱动相位与幅度控制电路的分析、设计和试验，硅微谐振式加速度计的数字频率 测量方法与实现技术。 从谐振式加速度计的结构和运动方式出发，导出其动力学模型和运动方程及其静电 驱动下振动位移和相位的关系。结合接口电路分析了振动信号的提取方式以及耦合电容 对信号提取和谐振频率的影响。针对锁相环相位控制方式和积分幅度控制方式，利用平 均分析法推导出系统稳定的条件，并进行了仿真验证。从系统的启动和受干扰后的稳定 过程出发，研究了系统的过渡过程和机械热噪声对系统的影响。讨论了三种数字频率测 量方法，其中经改进的相位推算测频法，实现了较高的测频速度，但精度较低。多周期 法测频精度较高，但测频速率远低于设计要求。从测频速度和精度两方面综合考虑，锁 相环频率测量法更为适宜，论文给出其主要组成部分设计及数字实现方式，进行了仿真 分析，确定满足频率测量要求的设计条件，为实现硅微谐振式加速度计的高精度频率测 量奠定基础。 关键字：谐振式加速度计，检测理论，相位控制，幅度控制，平均分析，频率测 量 ABSTRACT ABS TRAOT ThiSdissertationstudiesthedetectionandmethodsofthe theory siliconmicro．resonator accelerometer．Theresearch isto control anddetection to design achieve purpose circuit，then and drive detection．Theincludesthe closed—loop frequency study interfacecircuitforthe vibration and control circuit and signalextraction，phaseamplitude analysis，design testing， the measurementmethodand digitalfrequency realization． fromthestructureandmovementofthe Departure resonant modelof accelerometer,the its of the between dynamics，the motion，and vibration equations relationship displacement and werereducedunderelectro