低温烧蚀材料烧蚀对再入体流场光电特性影响的数值模拟.PDF

中国力学学会学术大会2005 ( CCTAM2005 ) 微槽道气体流动测量数据的评估 樊菁，谢冲，蒋建政 （中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室，北京100080） 许多研究者仔细地测量了微槽道气体的质量流量和流向压力分布[Pong et al. 1994; Harley et al. 1995; Shih et al. 1996; Arkilic et al. 1997, 2001; Zohar et al 2002] 。对这些在不同实验条件下获得的数据进行评估，对于利用这些数据检验各种滑移模 型和计算方法以及实际MEMS 器械中微槽道的设计和优化都有着重要意义。本文根据微槽道质量流量守恒要求导出了在全部 流动领域都适用的质量流量和压力分布表达式 3 2 Ch wp M =− 0 , (1) k 12µRTL 1 12Kn  P +βKn  2 2 P ϑ 6αKn P ϑ o P ln(1 βKn P ) ϑln(1 βKn ϑ) βKn ln CX ( − +) o ( − +)  + o − + o + o   , (2) 2 π ϑ βKn   + o  这里 1 12Kn  1+βKn  2 C (1=−ϑ ) +6αKn (1−ϑ) + o ln(1+βKn ) −ϑln(1+βKn ϑ) +βKn ln  o 