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光弹调制式反射差分光谱仪的理论分析.PDF
维普资讯
第5卷第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．5 No．1
2007年 3月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Mar．20o7
光弹调制式反射差分光谱仪的理论分析
胡春光 ，孙立东 ，李艳宁 ，ZEPPENFELDPeter，胡小唐
(1．天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津300072；
2．约翰 ·开普勒大学实验物理研究所 ，林茨 A4040，奥地利)
摘 要：反射差分光谱仪是一种测量灵敏度和精度较高的研究表面／界面的新型分析仪器，但微弱的反射差分信
号易受到各种噪声的干扰．作者利用Jones表示法，对光弹调制式反射差分光谱仪构建了包含器件 自身缺陷和安装
误差的数学模型，通过确立误差源与测量结果的联系，分析 出各误差源对测量结果的影响，特别是起偏器、光弹调
制器和样品的安装误差以及位相调制误差，这些系统误差经过标定可得到补偿．
关键词：光谱测量；反射差分光谱仪 ；Jones矩阵；光弹调制
中图分类号：TH744．2 文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2007)01—0001—05
TheoreticalAnalysisofReflectanceDifferenceSpectrometer
BasedonPhotoelasticM odulation
HUChun．guang，，SUN Li．dong ，LIYan．ning ，ZEPPENFELDPeter，HU Xiao．tang
(1．StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstrument，TianjinUniversity，
Tianjin300072，China；2．InstituteofExperimentalPhysics，
JohannesKeplerUniversity，LinzA4040，Austria)
Abstract：Reflectancedifferencespectrometer(RDS)isanewtypeofopticalanalysisinstrumenttoinvestigate
thestructuresonsurfacesandinterfaceswithhighsurfacesensitivityandmeasurementprecision．Thereflec—
tancedifferencesignalfrom surfaceisnormallySOweakthatitiseasilyaffectedbyallkindsofnoiseduring
measurement，toanalyzeerrorsourcesisnecessarytoimprovetheperfomr anceofinsturment．Here，photoelas—
ticmodulator(PEM)basedRDSisintroduced．AndthemodelofthesystemisbuiltinJonesmatrix，whereer-
rorsourcesarealso considered．With thismodel，the relationshipsbetweenmeasurementerrorsand error
sourcesraeestablished．Itisshownthatazimutherrorsofpolarizer，PEM
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