数值模拟探针诱导表面离子体共振耦合纳米光刻！.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 *’ !$ #$$% !$ ， ， ， KGB 7*’ 8G 7 !$ P42GZ10 #$$% （ ） !$$$@(#$Q#$$%Q*’ !$ Q))(@$) TUVT LWX=YUT =Y8YUT #$$% U5A, 7 L5[3 7 =G4 7 数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻! ） ） ） ） ） ! ! ! ! # 洪小刚 徐文东 李小刚 赵成强 唐晓东 !）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 #$!%$$ ） # ）（华东师范大学信息科学技术学院，上海 #$$#!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$’ !# #% #$$% ( #) 采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法，数值模拟了以光波长 的 偏振基模高斯光束 *! +* ,- . 为入射光源，激发/012345-6,, 型表面等离子体共振，并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法———探 针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻 分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小，模拟分析了不同情况下 7 探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布7 结果表明，探针工作在接触模式时，探针的局域场 增强效应最明显，记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大；当探针针尖距记录层* ,- 时，针尖下方记录层 表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近7 关键词：纳米光刻，表面等离子体共振，时域有限差分方法 ： ， !## %!!)8 ’(#$9 近场光学为光刻技术的发展提供了一条新的途 ［］ ! !+ 引 言 径7 N12OAH 等人 采用锥形光纤探针的近场光学显微 镜（ ）在传统的光刻胶上很容易地实现了约为 8=P9 纳米科技是 世纪 年代逐步发展起来的前 的光刻线 但是这一光刻方法采用的光纤探 #$ %$ !$$ ,- 7 沿交叉学科，已成为 世纪信息时代的核心 纳米 针容易损坏，并且光学近场内能量