针对PZT厚膜的MEMS超声换能器.pdfVIP

摘要 摘要 超声换能器是一种在超声系统中进行声电转换的声学器件，其性能对超声 MicromachinedUltrasonic Transducer,pMUT)，相比于传统的超声换能器，具有 易阵列化，集成度高，抗干扰能力强等优点，并且在实现高精度以及与IC工艺 集成上有明显的优势。 本文以MEMS压电换能器为研究对象，对MEMS压电换能器的材料及结 构优化、制各及测试进行了系统的研究。 在压电换能器的材料选择上，使用了一种PZT体材料减薄所得到的压电厚 膜，该材料压电性能优异(d31可达．280pm／v)，因而，采用这种厚膜作为驱动 材料，所制备的MEMS超声换能器不仅可以具备压电厚膜型pMUT本身所具 有的驱动力大，共振频率高等优点，而且有望获得较高的有效机电耦合系数和 发射声压。 在压电换能器的结构优化上，以有效机电耦合系数为目标，依靠有限元方 法(AnsyslO．0)分析了换能器结构参数的影响并得出最终的优化参数。优化后 其有效机电耦合系数最大可达7．2％，共振频率约为170KHz，静态位移 1．2岫@lOOv，器件性能优异。 在制备方面，根据现有工艺条件，制备了压电换能器，测试表明，其有效 机电耦合系数最大可达6．39％，为同类产品中最高，共振频率约为120KHz，共 振时中心的振幅为4．8岬@50V，发射声压高，可作为发射器来使用。 基于以上研究，本论文提出了一种新型的基于PZT厚膜驱动的MEMS超 声换能器。其驱动材科性能优异，器件有效机电耦合系数大，共振时振幅大， 发射声压高，其发射性能优于同类产品，在医疗成像，无损检测等方面都有广 阔的应用前景。 【关键词】 超声换能器，PzT，厚膜，MEMS，结构设计 目录 Abstract Ultrasonic a roleinthe transducer acoustic toits significant plays systemowing functionoftransformationbetweensonicandelectric MicromachinedUltrasonic anew to Transducer(pMUT)，representsapproach ultrasonicand thatovercomethe ofconventional systemgeneration shortcomings ultrasonic transducer．Foruseof electronic mechanic pMUT,theMEMS(Micro forconvenientfabricationof allows multi—dimensionsof system)technologies ofidentical offersthe of arrays elements．Meanwhile，pMUTadvantagescompact and the of thetransducerandthe designs pos