针对机械放大式机构的PZT(微)纳米驱动位移的传感检测及感知的分析研究.pdfVIP

摘要 摘要 纳米科技从一开始走入科学界的视野就一直发挥着巨大的吸引力和应用前 景，其对未来社会的科学发展和经济发展都会产生的重要影响，而且纳米科技及 相关产业的开发已经成为全球所关注的焦点。世界各国都在积极的投入大量人力 物力到这一热门领域之中，以期赢得新的发展机遇。人们在对纳米微观世界的认 识改造过程中，必须借助一系列的工具，如观测领域需要原子力显微镜(AFM)， 微驱动器领域需要压电陶瓷(PZT)等。PZT以其优秀的微位移输出特性已经得 到了世界范围内的广泛认可。但是它存在着迟滞、蠕变和非线性等缺点，由此影 响到纳米级驱动的静态和动态性能。这也是为什么目前还不能成熟的将其应用于 纳米级别的驱动的原因。并且基于驱动电压的控制模型和控制方法还会发生重复 定位精度差、非线性位移等缺点，使整个系统成为一个复杂的非线性系统，给系 统的控制带来了相当大的困难，很大的限制了PZT在纳米环境下的进一步应用。 因此本文针对微(纳)环境下PZT驱动器的驱动特点，先后开发研制三代用于检 测PZT驱动位移的传感器，通过基于传感器的位置反馈的闭环控制方法解决PZT 的非线性和迟滞效应，为实现PZT驱动器的实时线性控制提供一种简单易行的方 法。 本文是以国家自然科学基金重点项目“纳米环境中机器人化操作的理论体系 与实现方法为研究背景，以中国科学院合肥智能机械研究所机器人传感器实验 室多年来在力传感器和测力平台的研究工作为基础，进行能获取PZT实时驱动位 移信息的传感器的研制。 本文的主要研究内容如下： 1．检测PZT驱动位移的机械放大式传感器结构设计原理：根据PZT驱动器 的高刚度，驱动力大，驱动位移小等特点，设计并加工制造了一种基于柔性铰链 的机械放大结构的位移检测传感器。并且在有限的时间内先后完成了第二代、第 三代传感器的设计、制造及其实验测试。 2．传感器数学模型建立：由于传感器的造型复杂，影响性能的因素较多， 所以需要构建精确的数学模型。本文从简化模型到精确数学模型，采用数学、力 学方法推导出了精确的数学模型，对了解传感器、设计制造传感器提供了坚实的 理论基础。 3．传感器性能测试平台搭建及实验结果分析：针对传感器系统要进行实时、 高速的信号采集、分析和双向通讯的特点。下位机AD采集和总线通讯系统是以 C8051F040单片机为核心的硬件进行了设计，上位机主要采用基于串口的PC机 的软件系统心境设计，此系统包括传感器位移信号的采集、处理以及上下位机通 讯的RS232端口的设计。 摘要 通过PI公司的纳米扫描定位平台对三代传感器先后进行了静态性能的标 定。文中详细叙述了利用该实验平台的搭建，以及传感器标定的基本原理与步骤， 给出了传感器的标定及校准数据的优化方法。 关键词：PZT驱动器机械放大式(微)纳米级位移传感器柔性铰链数学 模型 ABSTRACT ABSTPACT Thellano-scienceand hasshoweditsfantasticattractionas of technology well船prosperity has essentialinfluencedmodem of and application．It society’Sdevelopmenttechnologyeconomy In farmore addition，peoplepay attentiononthe ofnarlo—scienceanditsrelative development fields．Almostallthe in world of countriesthe devote humanresourceand tothis