表面粗糙度及其量测.PDF

表面粗糙度及其量測 陳亮嘉 教授 National Taiwan University Precision Metrology Lab. 表面粗糙度之重要性 表面特性對工件使用時的磨耗及潤滑 、反覆受應力對 加工件之疲勞破壞 、工件接合面之黏著性 、汽缸與活 塞滑動面間之氣密性 與油密性及外觀光澤質感 等都有 直接且重要的影響。 Precision Metrology Lab. 表面組織之定義  形狀 （Form）： 又稱形狀誤差，由機器及工件受力變形，及 滑道直度不佳等誤差所引起。  波紋 （Waviness）： 由於加工所產生的 低頻 震動、機器振顫、機 器及工件橈曲等，所引起的低頻波形。  粗糙度 （Roughness）： 加工的高頻因素所引起的高頻不規則表面。  瑕疵 ：氣孔、缺陷、裂痕等。  全部輪廓 （total profile）即由以上幾種因素所組成 Precision Metrology Lab. 工件表面全部輪廓(1) Precision Metrology Lab. 工件表面全部輪廓(2) 紋向 Source: Talyform manual Precision Metrology Lab. 表面量測上之基本術語  紋向（Lay）： 加工後所遺留加工痕跡或結晶粒之方向。 剖面曲線： 沿工件表面垂直方向切下，以觀察其高低不平之 輪廓線。 Precision Metrology Lab. 表面量測上之基本術語 電子濾波 75% Precision Metrology Lab. 表面量測上之基本術語  粗糙度曲線： 由量測儀器所得並經處理後之曲線。  不規則點（Irregularities）： 即實際曲線之波峰與波谷。  樣本長度 （Sampling length ）： 足以顯示整個粗糙度型式的表面長度。 評估長度（Assessment length）： 包括幾個樣本長度，量測值為幾個參數評估的平均值。 量測長度（Traverse length）： 探針量測時，表面量測的總長度。 Precision Metrology Lab. 表面量測上之基本術語 Precision Metrology Lab. 表面量測上之基本術語  參考線（Reference line）： 量化評估外型的表面粗糙度所採用之參考基準線。 中心線（Center line）： 將外形分成面積相等 之兩部分，且平行於外形一般