声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 $# ! ’’$ ! ， ， ， A/B +$# @/ + ! ,5C05DE ’’$ （ ） !’’’8*’9’’$9$# ’! 9’#!%8’% :;: 4.=?;: ?@?;: !’’$ ;FGC + 4FE6 + /H + 声空化物理化学综合法制备 发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性! ）） ）） ）） ） ） ） ） ） ） ! ! # $ % 刘小兵 史向华 廖太长 任 鹏 柳 柳 毅 熊祖洪 丁训民 侯晓远 !）（长沙理工大学物理与电子科学系，长沙 #!’’(( ） ）（复旦大学应用表面物理国家重点实验室，上海 ’’# ） ）（西南师范大学物理系，重庆 #’’(!$ ） # ）（湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室，长沙 #!’’) ） $ ）（长沙理工大学计算机与通信工程学院，长沙 #!’’(% ） % ）（长沙理工大学期刊中心，长沙 #!’’(% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’’# # ’’# # * 声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备高效发光的多孔硅薄膜提供了一条重要的途径 实验结果表明， + 声化学处理对于改善多孔硅的微结构，提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术+ 超声波加强阳极电 化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜，比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质+ 这种超声的化学效应源 于声空化，即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃，在多孔硅的腐蚀过程中，孔中的氢气泡，由于超声波的作用增 加了逸出比率和塌缩，有利于孔沿垂直方向的腐蚀+ 关键词：声空化方法，微结构，发光特性，多孔硅 ： ， ， ， ， !## ()’ ()$$ )!’# )!%’ )%$ 光多孔硅的方法 然而，硅氟化物和氢气气泡的自然 + 扩散速度仍很慢 因此，发现一种能够促进多孔硅孔 !- 引 言 + 内的硅氟化物和孔内外的.1 扩散速度加快，将会 多孔硅是一种易于制备且成本低的纳米发光材 极大地改善腐蚀环境与条件+ 料，在光电子领域有潜在的应用前景+ 因此引起了科 在制备纳米材料的过程中，声化学的应