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长虹规划发展部 长虹规划发展部 长虹规划发展部 电极检查及修复 目录 一、电极图形检查工艺 二、电极图形检查设备 三、电极通断检查工艺 四、电极通断检查设备 五、电极修复工艺 六、电极修复设备 一、电极图形检查工艺 1、介绍 2、检查原理 3、工艺参数 1、介绍 在PDP电极的制作过程中，由于各种原因，往往会产生制作缺陷，而绝大部分缺陷是可以进行修复的。缺陷检查是进行缺陷修复的基本前提。准确、无遗漏的检出缺陷，为后期修复提供完备的检查数据，是对缺陷检查工序的基本要求。 自动光学检查（AOI）是缺陷检查的一种方式。这种检查方式具有结果直观、灵敏度高、检查速度快、能够提供完备的缺陷情报等优点，是FPD制造领域广为采用的一种基本缺陷检查方法。 2、检查原理 周期性灰度值比对方法：适用于具有一定排布规律 及周期的图形，如电极图形像素部。 线宽及间距比对法：适用于不是周期性排布的图 形，如电极图形端子部。 2、检查原理 周期性灰度值比对 周期性灰度值比对 首先由CCD摄像机获取到基板表面的图像，再对表面图像进行取样，得到灰度的变化曲线（如下图）。从这个曲线中我们可以看到，总体上讲，灰度是呈周期性分布的，但是有些部分灰度值有异常，这些部分需要后期运算排查。 阈值排查 采用周期性灰度差值比对，运算出异常点的波形，这些异常点中包括缺 陷点，需要在后期的运算中进行排查。 首先采用阈值排查，即灰度差别超过某一阈值才判定为缺陷，否则忽 略。按照下图可知，中间两个异常点在此步骤中被排除。 缺陷大小排查 阈值排查后需要进行缺陷大小排查。对于检测到并经过阈值排查后的异常点，采用缺陷大小排查的方法，根据缺陷的面积大小对缺陷分类。对于缺陷小于缺陷设定值的异常点，排查时将其判定为正常点。 经过缺陷大小排查后，缺陷最终即可确定下来。 最后需将缺陷的坐标及分类数据显示并传输给缺陷review工序。 黑缺陷 白缺陷 线宽及间距比对法 线宽及间距比对法 3、工艺参数 照明方式 扫描速度 检查周期 缺陷数量 缺陷大小 缺陷种类 阈值 照明方式 用于PDP图形检查的照明方式一般有以下几种： 正反射 漫反射 透射 同轴落射 UV照明 对应于不同的工序和材料，采用不同的照明方式。 照明方式 照明方式 照明方式 照明方式 扫描速度 在检查设备CCD总数量固定及光学分辨率一定的前提下，提高CCD的扫描速度可以降低生产节拍。但扫描速度设定过快会造成检测过程的不稳定，使检测结果不准确。量产时应根据实际情况选定合适的扫描速度，使得在稳定的情况下还能满足生产线的节拍。 检查周期 检查像素部时，采用周期比对算法，设备按照 设定的周期进行灰度比对，周期设定错误设备将会产生误判。 比对可以在水平方向上进行，也可以在垂直方向 上进行。 垂直取样和水平取样都是确定检查周期的方法。垂直取样获得的周期是进行垂直方向比对所应设置的周期。水平取样同理。 缺陷数量 缺陷数量的意义是指在检查过程中一张屏上容许出现的最大缺陷数。若超过此数，将对屏上剩余的未检查区域不再做检查，直接判定为废屏。此参数的设定与产品的良品率及生产线的稳定程度有关。 缺陷大小及缺陷种类 缺陷大小在控制程序里称为不良条件设定值。是缺陷大小的容许值。 在检查条件设定下，进行对检查视窗的检查，将检出的缺陷进行黑、白缺陷大小分类。根据各类缺陷的容许值设定，将检出点进行分类。尺寸小于容许值的点系统将忽略，尺寸大于容许值系统将判定为缺陷。 阈值设定 进行灰度周期比对时，阈值是指待检周期和比对周期的灰度值之差超过阈值则判定为缺陷。 进行线宽或间距比对时，阈值是指待检线条宽度或线条间距与邻近的线条宽度或间距之差超过阈值则判定为缺陷。 根据不同的检查需求，白缺陷和黑缺陷的阈值需要分别设定。白缺陷阈值为正值，黑缺陷阈值为负值