【2017年整理】用于能量传输的生物体植入式MEMS电感线圈的设计.pdfVIP

研究简报 生命科学仪器 2009第7卷门0月刊 用于能量传输的生物体植入式MEMS电感线圈的设计 骆明辉 ，卢露z。郭航。 (厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心 ，厦门 361005) 摘要 为了能得到植入在生物体内，用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量 L值的MEMS电感线圈，本文首先对MEMS电感模型做了理论分析，然后在充分考虑功率传输要求、植入器件体积的限 制以及制作工艺的可实现性的情况下，用高精度的3D电磁仿真软件HFSS，对电感的主要参数如圈数N、线宽w、导线 间隙S、导线厚度H、导线材料M和衬底电导率13作了优化设计。最终确定N=10、W=25Ixm、S=50I．Lm、H=48lrm、 M为Cu、仃=0．1Sm／。数值仿真的结果显示Q=17．6，L=55nH，，岫 =240MHz， =1．2GHz，它们能很好地符合 能量传输的功率要求和信号传输的带宽要求。 关键词 集成电感 ，可植入式微器件，MEMS，能量耦合，SU一8，电镀 引言 适合在植入系统中应用l51。MEMS高Q值电感[61的研 究，陈石清等 已有了些进展，本文的设计是以高阻硅 对于像心脏起搏器之类的应用于生命科学的可植 为衬底，相对其在玻璃衬底l8I上能更好地与电路兼容， 入微系统，需要有直流电源进行驱动。但直流电源的 且本文提供的工艺方案能制作出厚度更高的线圈，功 寿命一般短于可植入器件的寿命，开发长寿命的微型 率传输的容量更大。 直流电源很困难。为了减少更换旧电源时而开刀做手 术给病人带来的危险与痛苦以及经济上的负担，建立 一 种行之有效的体外与体内无线式的能量传输机制势 在必行。在这方面前人已做出些研究应用于生命科学 的可植人式无线传感器网络已成为将微纳米技术、无 线传感器网络技术与生物遥测技术等相结合来检测与 治疗疾病、保证生命健康的一个新领域f1】。如图1所 示，这种系统是由体外和体内两部分组成。体外部 分包括电源与控制电路、信号发射电路和接收电路以 及一个贴装在皮肤表面的电感线圈。体内植入部分包 图1体外与体 内之间的信号与能量传输示意图 括接发收电感线圈与信号转换电路。分离的两部分利 1 MEMS电感的物理模型 用通过电磁耦合后，电磁信号和能量在生物组织中传 播，从而实现由体外对植入的传感器芯片的信号和能 对于本文要设计的内置硅片上的集成电感其几何 量的传递。在这个系统中，高Q值电感是提高耦合 剖面图如下图2所示，最底下的是硅衬底，中间是聚 效率的重要因素。Heetderks等[：正明了毫米和亚毫米 酰亚胺支撑隔离层，在其中包有下导线及通孔导线， 量级的电感线圈可以传递毫瓦量级的功率。PCB板 最上面的是cu电感。对于这个几何图形，作者抽象出 上印刷平面电感3[】易于制作，但PCB电感的Q值都较 了如图3所示的集总参数物理模型，它刻画出了各个 低。利用MEMS工艺制备的微型电感I4J比传统方法制 参数的物理意义，去掉其几何架构，得到如图4所示 备的电感Q值高、体积小、功耗低和易于集成，更 的电路物理模型。 作者简介：1．骆明辉 (1983一)．男 ，硕士研究生，研究方向为无线 电物理 2．卢露 (1985一)，女 ，硕上研究生 ，研究方向为微 电子 通讯作者：3 ．通讯作者 ：郭航 (1967一)，教授．研究方向为微机电系统 、集成电路没计 与制造以及纳米技术 电话：0592—2l8l340，传真：0592—2l87196，Emai|：hangguo@xmu．ed