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【2017年整理】电感和电容传感器在磁悬浮陀螺检测中的应用.pdfVIP

【2017年整理】电感和电容传感器在磁悬浮陀螺检测中的应用.pdf

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【2017年整理】电感和电容传感器在磁悬浮陀螺检测中的应用

电感和电容传感器在磁悬浮陀螺检测中的应用 张晓涛,张怀武,杜昌雷,李涛 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054) 摘要:磁悬浮陀螺仪是一种新兴的惯性导航器件,对其转子位置的有效检测是实现陀螺惯性导航作用的 关键。在分析电感传感器磁性能及电容传感器介电性能的基础上,设计了应用于磁悬浮陀螺转子检测的差动式 检测电感和检测电容,并对两种传感器非电学量到电学量的转换进行了计算,将其用于转子位移以及偏转角度 的检测,最后对实验结果进行了分析。设计的传感器其灵敏度和精度满足陀螺对加速度及角速度检测的要求。 关键词:磁悬浮陀螺;检测系统;电感传感器;电容传感器 中图分类号:TP212 文献标识码:B 文章编号:1001.3830(2011)03.0060.04 ofinductiveand sensorsin Application capacitive magneticallysuspendedgyroscope ZHANG Tao Xiao—tao,ZHANGHuai—wu,DUChang—lei,LI State ThinFilmsand KeyLaboratoryofElectronic IntegratedDevices,UniversityofElectronic Scienceand Technology 610054,China ofChina,Chengdu Abstract:Effectivedetectionoftherotor all roleinthe playsimportant magneticallysuspendedgyroscope, whichisall inertial device.Inthis ofinductivesensorsand sensors navigation paper,the capacitive emerging principles from were anddifferentialdetectionsensorswere transformationsnon-electricalmeasurements analyzed designed,the toelectricalmeasurementswere thesensorswere tothedetectionof and calculated,and applied displacementangular accelerationand Can deflectionoftherotor.Resultsshowedthat be measuredthe angularvelocity successfullyby sensorS. sensor wor

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