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第11章 【薄膜、劈尖、牛顿环】习题课
* 相干光 分波阵面法 分振幅法 (杨氏双缝干涉) 薄膜干涉 劈尖干涉 牛顿环干涉 一.薄膜干涉 ① ② 有半波损失 加强 减弱 ② ① 减弱 二、劈尖干涉 加强 劈棱处出现明纹还是暗纹? 暗纹 1 2 3 1 2 3 空气 减弱 1 2 3 加强 劈棱处出现明纹还是暗纹? 明纹 3.测微小物体的厚度 1.相邻明(暗)纹间的厚度差 2.相邻明(暗)纹的间距 三、牛顿环干涉 ① ② 明环半径 暗环半径 空气 若平凸透镜与平玻璃之间充满折射率 介质: 1. 真空中波长为?的平行单色光垂直照射到薄膜上,经上下两表面反射的两束光发生干涉,若薄膜的厚度为 e,并且 n1n2n3, 则两束反射光在相遇点的相位差为多少? 2. 平行单色光垂直照射到薄膜上,经上下两表面反射的两束光发生干涉,若薄膜的厚度为 e,并且 n1n2n3, ?1 为入射光在折射率为 n1 的介质中的波长,则两束反射光在相遇点的相位差为多少? 真空中波长 如何验证对错? 3.一束波长为?=600nm 的平行单色光垂直入射到折射率为n =1.33的透明薄膜上,该薄膜是放在空气中的。要使反射光得到最大限度的加强,薄膜的最小厚度是多少? e 1 2 3 4.透镜表面通常覆盖着一层 MgF2的透明薄膜, 其折射率n=1.38(透镜的折射率大于1.38)。为使氦氖激光器发出的波长为 632.8nm 的激光毫不反射地透过,求薄膜厚度满足的关系及最小厚度。(设光线垂直入射) 最薄的膜厚取 k=0,则 e 1 2 3 5.在半导体元件生产中为了测定硅片上 薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈形。已知 折射率为 1.46,用波长为 589.3nm 的平行光垂直照射后,观察到 劈尖上出现了9条暗纹,并且第9条暗纹在劈尖斜坡的上端点B, Si 折射率为 3.42 ,求 薄膜的厚度。 B 处第 9 条暗纹对应上式 SiO2膜 解: 思考:若 AB 段共有 9 条明纹,且 B 处恰好是一条明纹,求薄膜厚度。 6.两平板玻璃构成一空气劈尖,长L=4cm,一端夹住一金属丝。以波长为 ?=589.0 nm 的钠光垂直入射。 (1)若观察到相邻明(或暗)纹间距离l =0.1mm,求 金属丝的直径 d =? 解:(1) 6.两平板玻璃构成一空气劈尖,长L=4cm,一端夹住一金属丝。以波长为 ?=589.0 nm 的钠光垂直入射。 (2)将金属丝通电,受热膨胀,直径增大。在此过程中,从 玻璃片上方离劈棱距离为 L/2 的固定观察点上发现干涉 条纹向左移动 2 条,问金属丝的直径膨胀了多少? 解:(2)在劈尖中部干涉条纹向左移两个条纹, 说明在该处厚度增加: 7、 如图a所示,一光学平板玻璃A与待测工件B之间形成空气 劈尖,用波长l=500 nm 的单色光垂直照射.看到的反射光的 干涉条纹如图b所示.有些条纹弯曲部分的顶点恰好与其右边条 纹的直线部分的连线相切.则工件的上表面缺陷是 (A) 不平处为凸起纹,最大高度为500 nm. (B) 不平处为凸起纹,最大高度为250 nm. (C) 不平处为凹槽,最大深度为500 nm. (D) 不平处为凹槽,最大深度为250 nm. [B] 空气劈尖: A B 图 b 图 a 8、用劈尖干涉法可检测工件表面缺陷,当波长为l的单色 平行光垂直入射时,若观察到的干涉条纹如图所示, 每一条纹弯曲部分的顶点恰好与其左边条纹的直线部分的 连线相切,则工件表面与条纹弯曲处对应的部分 凸起,且高度为l / 4. 凸起,且高度为l / 2. 凹陷,且深度为l / 2. 凹陷,且深度为l / 4. [C] 空气劈尖: 思考:折射率为n的介质劈尖呢? 平玻璃 工件 空气劈尖 9、 两块平玻璃构成空气劈尖,左边为棱边,用单色平行 光垂直入射.若上面的平玻璃慢慢地向上平移,则干涉条纹 (A) 向棱边方向平移,条纹间隔变小. (B) 向棱边方向平移,条纹间隔变大. (C) 向棱边方向平移,条纹间隔不变.
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