CVD生产操作规程幻灯.pptVIP

PECVD生产操作规程 葛成林 1 安全警告 设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险 严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域 机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险 未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机 2 安全与标识 威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 热的表面 3 开机 开总电源 启动计算机 检查冷却水 检查气源 启动“system”程序 3.1 开总电源 检查三 只红色急停按钮是否复位，如末复位拉出复位 向右转动主电源断路器手柄复位，然后向左转动手柄，主电源合闸 机器上指示灯、温控仪表点亮 可确认总电源已开启 3.2 启动计算机 轻压一下工控机主机上“POWER”按钮，计算机启动WIN-NT 3.3 检查冷却水 冷却水压力应在4kg/cm2--6kg/cm2范围内 先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀 检查、调节水流量计，ww1--4 为 10L/min , ww5--6为 6L/min，ww7--12 为 2.5L/min (设备人员调节) 3.4 检查气源 打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2--7 kg/cm2 打开氮气阀，氮气压力小于5kg/cm2 3.5 启动“system”程序 用鼠标左键双击Win-nt 桌面“system”图标 启动后登入自己使用权限帐号 4 选择工艺单、生产 开真空泵，预加热 启动指定工艺 检查工艺运行情况 放置空石墨框进行传动状态测试 工艺调试，生产 4.1 开真空泵，预加热 检查机器无故障显示后，开真空泵 加热腔和反应腔预加热 当反应腔真空压力小于1.0e-2mbar,温度达到预设定的值，方可启动工艺 4.2 启动指定工艺 打开墙壁气箱中特气阀 点击“control”控制按钮，“ technology ”框中选择规定的工艺单后，加载“ load ”, 启动工艺“ start ”，在“ transp-ortation ”框启动传动 4.5 进行工艺调试，生产 放入装有需加工硅片的石墨 框进行工艺调试，生产 在机器口放置、检查好石墨框后按压黑色准备好按钮，机 器传动才执行 带上高温手套，及时从机器出口平稳拿出石墨框 5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫 关上位于墙壁气箱中特气阀 通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫 5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2 进入“system”状态画面，点击“pumps”控制按钮，弹出下拉菜单 等待真空泵净化N2气阀关闭 点击三个真 空泵“pump off”控制按钮关掉真空泵 点击反应腔“vent”控制按钮,向机器腔体冲入净化N2，等待冲好指示灯点亮 5.4 退出控制程序，关主电源 进入“service”状态画面，点击系统中“switch off”控制按钮，计算机显示回到win-nt 画面 进行正常关计算机操作 用手按压一下红色急停按钮，关闭主电源，拉出红色急停按钮复位 5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水 关上压缩空气、氮气阀 等十五分钟后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀 PECVD生产操作规程 完 * * 触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套 4.3 检查工艺运行情况 过程状态画面框显示过程执行“process running” 压力控制 微波开启 特气开启 以上条件满足方可启动工艺 4.4 传动状态测试 在机器装载口平稳放置空石墨框进行传动状态测试 5 停机 停止工艺运行 关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫 关掉真空泵,向机器腔体冲入净化N2 退出控制程序“system”,关主电源 关上压缩空气、氮气、冷却水 5.1 停止工艺运行 鼠标点击“control”按钮，弹出下拉菜单 点击工艺“stop”按钮 点击传动“stop”按钮 ? ? ? Figure 10: Process chamber Figure 12: Gas system