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2017-09-10 发布于河北
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凯克斯设备说明书中文版(仅作参考)

KX170 设备说明书设备说明书设备设备说明书说明书 11 设备设备通用技术条件通用技术条件 11 设备设备通用技术条件通用技术条件 1.1 所有管道均标示流向和流体介质。 1.2 按照 210Kg投料量设计籽晶提升和坩埚提升装置。 1.3 配置冷却套筒。 1.4 配置电动热屏提升装置。 1.5 控制系统内不包括 UPS 电源，但要求客户必须配置。 1.6 KICCS-Kayex 智能晶体生长控制系统。 KX170 机械说明书（B ） 2/21 Kayex 机密 KX170 设备说明书设备说明书设备设备说明书说明书 2 物理和物理和性能性能规格规格物理和物理和性能性能规格规格系统属性和主要组件所有单晶炉室均由 304L 不锈钢制作而成，采用双层水冷夹套结构。炉体的所有焊接处都经过缺陷检查和探伤检验，并通过水压试验和氦质谱检漏仪检漏。请参见第 6 章的图纸。 2.1.12.1.1 底板底板 2.1.12.1.1 底板底板单晶炉的炉底板设计成平板式，中间的通孔用于坩埚轴的安装，并配有排气孔两个，压力传感器通气孔一个，电极安装通孔六个。电极（6 个）电极孔直径： 75.5mm（2.97″ ）电极材料：紫铜，水冷排气孔直径（2 个）： 81.79mm（3.22″ ）中心孔径： 127mm（5.00″ ） 2.1.22.1.2 主炉室主炉室 2.1.22.1.2 主炉主炉室室主炉室是一个两端敞开并带法兰接头的筒状结构。其上配有一个用于测量加热器温度的高温计接口。主炉室内壁无任何突出部分。主炉室内径： 1040mm（40.94″ ）主炉室高度： 985mm（38.78″ ）高温计接口位置：炉底板上方 697mm（27.4″ ） 2.1.32.1.3 炉盖炉盖 2.1.32.1.3 炉盖炉盖炉盖为穹状结构，为主炉室和副炉室之间提供了一个过渡区。炉盖的喉口部两侧分别设置有氩气接口。炉盖喉口直径 14″ [355mm]。炉盖下法兰外周上设置有用来引导泄露气体向下流动的裙边。（这种结构通常于替换安装炉室夹具） KX170 机械说明书（B ） 3/21 Kayex 机密 KX170 设备说明书设备说明书设备设备说明书说明书内径： 1040mm（40.94″ ）相机窗口： 64mm×153mm 操作者观察窗口： 64mm×279mm 加料孔直径：