光学元件挠性支撑结构广义建模及优化设计-光学精密工程.pdfVIP

光学元件挠性支撑结构广义建模及优化设计-光学精密工程.pdf

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光学元件挠性支撑结构广义建模及优化设计-光学精密工程

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棻棻 暋 暋 暋暋斘旓旜棶棽棸棻椂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂棻棻灢棽椃椆棽灢棻棽 光学元件挠性支撑结构广义建模及优化设计 灣 棳 棳 棳 棳 棳 曹玉岩 王志臣 周 超 范 磊 韩西达 张耀祖 暋 暋 棬 棳 棭 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 棻棾棸棸棾棾 椇 棳 摘要 建立了挠性支撑结构的力学模型及优化设计模型 以使光学元件挠性支撑结构同时满足元件定位的刚度要求和温 棳 暎 棳 度适应性的柔度要求 同时给出了相应的建模方法 考虑挠性支撑结构是由圆周对称分布的挠性单元组成的 故将挠性 棳 暎 棳 棳 单元简化为超静定梁结构 应用虚功原理推导了挠性单元的径向及切向刚度 然后 假设光学元件为刚性体 根据力平 棳 棳 暎 棳 衡条件及变形协调条件 推导了挠性支撑结构的整体刚度 并引入修正因子补偿了刚体假设带来的误差 最后 以挠性 棳 棳 支撑结构总变形能为目标函数 推导了同时考虑挠性支撑结构几何构形及参数的协同优化设计模型 通过引入了整型变 棳 暎 量将结构整体刚度简化为整型变量和离散刚度的线性组合 从而使优化模型中不含有谐波函数项 基于数值仿真和实 棳 椇 暍 暎 棳 棳 验对结构刚度模型进行了验证 结果显示 实验 仿真和理论计算结果一致 此外 以透镜支撑为例 验证了挠性支撑结 棳 棳 暎 构的优化设计方法 有限元分析结果表明 透镜面形精度较初始设计提高了 棽棾棩 椇 椈 椈 椈 椈 椈 关 键 词 光学元件 挠性支撑结构 广义模型 超静定 变形能 优化设计 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椃棸棾斣斝棽椃棾暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椂棽棿棻棻棶棽椃椆棽 斍斿旑斿旘斸旍旐旓斾斿旍旈旑 斸旑斾旓旚旈旐斸旍斾斿旙旈旑旓旀旀旍斿旞旛旘斿旙旛 旓旘旚旈旑 旂 旔 旂 旔旔 旂 旙旚旘旛斻旚旛旘斿旀旓旘旓旚旈斻斸旍斻旓旐 旓旑斿旑旚旙

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