精品第6章 压电传感器.ppt

第6章 压电传感器 6.1 晶体的压电效应 6.2 压电加速度传感器 6.3 压电谐振式传感器 6.4 声表面波传感器：优缺点、基本原理 6.5 压电传感器应用举例 6.6 习题 6.1 晶体的压电效应 压电式传感器是一种有源的（发电型）双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1880年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器. 6.1 晶体的压电效应Piezoelectricity 1. 晶体压电效应与压电材料 当某些晶体沿一定方向伸长或压缩时,在其表面上会产生电荷(束缚电荷),这种效应称为压电效应。晶体的这一性质称为压电性。压电效应是可逆的，即晶体在外电场的作用下要发生形变，这种效应称为反向（逆）压电效应。（电致伸缩效应） 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 晶体的压电效应可用下图来加以说明。图（a）是说明晶体具有压电效应的示意图。一些晶体当不受外力作用时,晶体的正负电荷中心相重合,单位体积中的电矩（即极化强度）等于零，晶体对外不呈现极性，而在外力作用下晶体形变时，正负电荷的中心发生分离，这时单位体积的电矩不再等于零，晶体表现出极性。 图 （b）中，一些晶体由于具有中心对称的结构，无论外力如何作用，晶体正负电荷的中心总是重合在一起，因此这些晶体不会出现压电效应。 石英晶体是最早应用的压电材料,至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带滤波器等元件的压电材料。随着压电传感器的大量应用，在石英之后研制出了许多人造晶体，如罗息盐、ADP、KDP、EDT、DKT和LH等压电单晶体。但由于它们的性能存在某些缺陷，后来随着人造压电石英的大量生产和压电陶瓷性能的提高，这些人造单晶体已逐渐被取代了。 压电材料的种类： 压电晶体，如石英等； 压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅PZT等； 压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。 压电高分子聚合物，聚偏二氟乙烯PVDF等 压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数 , 它直接关系到压电输出的灵敏度。 弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 介电常数：处于工作状态的压电传感器相当于一个电容器，存在着一个压电元件材料沿电极面法线方向的自由介电常数ε 。对于一定形状、 尺寸的压电元件 , 其固有电容与介电常数有关 ; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。  机电耦合系数：在压电效应中 , 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根 ; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏 , 从而改善压电传感器的低频特性。 居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度 石英晶体 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。 压电陶瓷外形 高分子压电薄膜及拉制 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 ④压电半导体材料 如ZnO、CdS 、CdTe，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 现今压电传感器的材料大多用压电陶瓷。常用的压电陶瓷是锆钛酸铅(PZT)。另外，铌酸锂和钽酸锂大量用作声表面波(SAW)器件。此外,氧化锌和氮化铝等压电薄膜已是当今微波器件的关键材料。 压电单晶和压电陶瓷都是脆性材料。而以聚偏二氟乙烯(PVDF)为代表的压电高聚物薄膜,压电性强,柔性好,特别是声阻抗与水和生物组织接近,是制作传感器的良好材料。用压电陶瓷和高聚物复合而成的压电复合材料也已在压电传感器领域中得到应用。 切片上电荷的符号与受力方向的关系 6.1.3.4压电晶体等效电路 压电晶片的连接方式 1、 串联形式，正电荷集中在上极板，负电荷集中在下极板，而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷q?等于单片电荷q，而输出电压U?为单片电压U的二倍，总电容C?为单片电容C的一半，即 1、ω/ω0=0(静态)时，输入(即压电元件的输出)为0 2、 ω/ω0