微进给控制系统关键技术的的分析研究及其应用.pdfVIP

微进给控制系统关键技术的研究与工程应用 摘要 在精密磨削玻璃、陶瓷、半导体等脆硬材料时，砂轮切深进给量小于 O．1¨m，使磨屑呈现出类似切削塑性材料时的卷曲状，并且工件表面没有力11 工裂纹，加工精度高。然而，传统磨床由于缺少关键技术的有力支持，进 给系统不可避免地存甜魁百：现象，位移分辨率较低，且系统的响应速度低 等缺点。 本文以某省(市)级科技攻关项目“面向精密加工压电驱动微进给系 统设计与研究”为背景，在分析精密磨削、精密磨床和微进给控告悔沐的 基础上，从工程实际应用出发，研制了—种面向精密磨削的压电陶瓷驱动 微进给新型控制系统，该系统是—个集驱动、检测和精度补偿为一体的闭 环控制系统。 本文在以下几个方面进行了较为深入研究： 1．通过对比各种微进给工作台特性和压电陶瓷驱动器控制方法，对微 进给系统及其在磨床上的应用进行了方案论证和总体设计。微进给 工作台采用压电陶瓷驱动、柔性铰链作为精密位移机构。精密磨床 采用二级进给机构，即利用磨床的进给系统作为第一级进给机构实 现粗磨、半精磨；用刚度、分辨率和响应速度较高的微进给工作台 作为第二级进给机构实现微量进给，完成工件的精密磨削。 2．将微进给工作台等效为单自由度弹簧阻尼系统，建立了该工作台动 力学模型。为了消除微进给工作台非线性工作特性下的各种干扰因 素的影响，特建立了系统的开环控制和闭环控制两种模型，并在 IV Matla脐境下进行了仿真和对比分析。分析结果表明：闭环控制下 的微进给工作台具有较高定位精度和快速响应性。 3．研制了基于压电陶瓷驱动的微进给闭环控制系统。p_AMCS-51系列 单片机√m9C55作为杨D处理器，采用精密的电感式测微仪做为位 移反馈装置，研制出集驱动、检测和精度补偿为一体闭环控制系统。 该系统采用模块化设计，分为驱动系统和检测系统两大模块。 4．建立了微进给系统工作实验平台，对该系统进行了切削加工实验验 证以及实际工程应用。设计了基于数据采集卡和LabvieW的数据采 集系统，对微进给系统的静、动态性能进行了测试。实验证明，本 文设计的压电陶瓷驱动控制系统闭环控制系统具有良好的人机接 口，整个微进给系统行程27pm，定位精度．加．04pm，最大响应时 间80ms,静态刚度姻J195N4un，且该控制系统具有成本低、体积 小、可靠性好、响应时间较快、应用灵活等特点。 关键词：精密磨削，微进给，压电陶瓷，闭环控制系统 V STUDYAND APPLI咖ONONKEY TEa田峋LOGYUSED THE FORCONTROLLER OFⅧCRoPOSIⅡ∞心『GSYSTEM Precision a methodthathasalessthan m孤删艮慨ismanuflctufing andalowerthan 0．11anacctaacy Ra0．025pmroughn髑．Whenglass,僦amic onthesurface the arecurllike craps of位parts．m!dscraps thefeed plastic．But ofthe has systemIraditional刨啦machinecreep resolution