电化学原子层外延制备Bi-%2c2-Te-%2c3-纳米热电薄膜的的分析研究.pdfVIP

摘 要 热电材料是一种利用固体内部载流子运动实现热能和电能直接相互转换的功能 材料。它可用于温控、温差发电、医疗器材、潜艇用空调设备等许多重要领域。传 统热电材料普遍ZT 值较小，转换效率低。研究表明,材料的纳米化、低维化都有助 于降低材料的热导率,是提高热电材料性能的最有效途径之一。 电化学原子层外延法(ECALE)具有低成本、过程易控、室温沉积、环境负荷小 等特点，在制备纳米超晶格材料方面具有独特的优势，是控制半导体化合物结构、 组成和生长形貌及了解电沉积机理的先进技术。本文讨论了利用ECALE 技术制备铋 化碲纳米薄膜的研究过程,进而研究了碲在多晶金衬底上的沉积动力学特征。 本文阐述了材料的热电效应机理，综述了热电材料的研究现状；对比常用制备 薄膜材料的方法，详细介绍了电化学原子层外延技术的原理、特点和影响因素，并 对电化学原子层外延技术在新材料中应用进行了展望。 采用电化学原子层外延法(ECALE)在Au 电极上成功地制备了Bi Te 化合物热电 2 3 薄膜。通过循环伏安扫描研究Te 和Bi 在Au 衬底上的电化学特性，使用自动沉积系 统交替欠电位沉积Te ，Bi 原子层200 个循环获得沉积物。XRD ，EDX 和FESEM 测 试结果表明循环沉积200 层后得到的沉积物Bi 和Te 的化学计量比为2:3 ，且是Bi Te 2 3 薄膜化合物，而非单质Bi 和Te 的简单混合；薄膜均匀、致密、平整且可重复性好， 以(015)为最优取向外延生长的。 利用循环伏安(CV)技术对Te 在多晶Au 上和在沉积了一层Bi 的多晶Au 上的欠 电位沉积的电化学特性进行了比较，并研究了PH 值、浓度、扫描速率对Te 欠电位 的影响，同时验证了Te 的欠电位沉积过程符合M.S. Maestre 导出的三个标准，即遵 循二维生长机制。 关键词：热电材料 电化学原子层外延 欠电位沉积 Bi2Te3 薄膜 I Abstract Thermoelectric material is new functional material that can be used to convert thermal energy into electrical energy directly with carriers. It has been used in many fields, such as temperature control, thermoelectric power, cooling electronic devices, medical equipment, high temperature superconductor, aerospace equipment, air-conditioning of submarine and so on. The study shows that nano-crystallization or low dimensionization is one of the most effective methods to improve thermoelectric. Electrochemical atomic layer epitaxy(ECALE) exhibites outstanding properties, such as low cost, easily controllable and scalable process, deposition at ambient temperature and environmental benign and so on. ECALE is proved to be an advanced method for deposition of semiconductor compoun