pressure sensing in high-refractive-index liquids using long-period gratings nanocoated with silicon nitride压力传感high-refractive-index液体使用长周期光栅nanocoated与氮化硅.pdfVIP

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2017-09-11 发布于上海
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pressure sensing in high-refractive-index liquids using long-period gratings nanocoated with silicon nitride压力传感high-refractive-index液体使用长周期光栅nanocoated与氮化硅

Sensors 2010, 10, 11301-11310; doi:10.3390/s101211301 OPEN ACCESS sensors ISSN 1424-8220 /journal/sensors Article Pressure Sensing in High-Refractive-Index Liquids Using Long-Period Gratings Nanocoated with Silicon Nitride Mateusz Smietana 1,2,*, Wojtek J. Bock 2, Predrag Mikulic 2 and Jiahua Chen 2 1 Centre de Recherche en Photonique, Université du Québec en Outaouais, 101 rue Saint-Jean-Bosco, Gatineau, QC, J8X 3X7, Canada 2 Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland; E-Mails: wojtek.bock@uqo.ca (W.J.B.); predrag.mikulic@uqo.ca (P.M.); jiahua.chen@uqo.ca (J.C.) * Author to whom correspondence should be addressed; E-Mail: M.Smietana@.pl; Tel.: +48-22-234-7932; Fax: +48-22-234-7932. Received: 8 November 2010; in revised form: 6 December 2010 / Accepted: 9 December 2010 / Published: 10 December 2010 Abstract: The paper presents a novel pressure sensor based on a silicon nitride (SiN ) x nanocoated long-period grating (LPG). The high-temperature, radio-frequency plasma-enhanced chemical-vapor-deposited (RF PECVD) SiNx nanocoating was applied to tune the sensitivity of the LPG to the external refractive index. The technique allows for deposition of good quality, hard and wear-resistant nanofilms as required for optical sensors. Thanks to the SiNx nanocoating it is po