多层衍射光学元件的成像特性-长春理工大学研究生院.doc

分类号： TH74 密级： U D C： 编号： 多层衍射光学元件成像特性的研究 Studies on Imaging Characteristics of Multilayer Diffractive Optical Elements 学位授予单位及代码：长春理工大学（10186） 学科专业名称及代码： 光学工程（080300） 研 究 方 向： 现代光学技术及工程应用 申请学位级别： 博 士 指 导 教 师： 崔 庆 丰 教授 研 究 生： 薛常喜 论文起止时间： 2006.9－2010.3 摘 要 衍射光学是光学领域最具活力的研究方向之一，多层衍射光学技术是近年来光学工程领域的最新进展。多层衍射光学元件不仅具有传统单层衍射光学元件的成像特性，而且克服了传统单层衍射光学元件存在的衍射效率偏离中心波长仍急剧下降的缺陷。多层衍射光学元件与折射或反射光学元件构成的混合光学系统，可以突破传统光学系统的一些限制，对提高成像系统的性能、简化结构和降低成本都具有十分重要的意义。含有多层衍射光学元件的混合成像光学系统的设计过程可以分为两个方面，一方面是多层衍射光学元件的衍射效率优化设计，另一方面是含有多层衍射光学元件的混合光学系统的优化设计。本文基于光波的标量衍射理论，对应用于成像光学系统中的多层衍射光学元件的相关成像特性进行深入的研究；同时结合单层衍射光学元件和薄透镜的成像理论，研究了含有多层衍射光学元件的折衍射混合光学系统的成像理论。 以光波的标量衍射理论为基础, 系统地分析了衍射光学元件的透过率函数通用表达式，给出了衍射光学元件的连续和量化台阶结构的衍射效率通用表达式，以及对光束斜入射衍射光学元件的衍射效率进行分析，提出了斜入射情形下衍射效率的提高措施，给出了光波的标量衍射理论在分析衍射光学元件的限制条件。依据旋转对称双曲面的数学模型，给出了衍射光学元件具有非球面特性的理论依据。根据衍射光学元件的负阿贝数和热阿贝数定义，讨论了衍射光学元件的消色差和消热差理论，给出了初始结构的求解过程。根据傅立叶光学中透镜的位相调制作用，讨论了衍射光学元件的材料色散和衍射色散的综合作用。最后依据Sweatt高折射率模型给出了衍射光学元件的三级像差理论。 根据谐衍射元件的基本原理和衍射光学元件的位相延迟表达式，分析了多层衍射光学元件的通用位相延迟表达式，研究了光束斜入射多层衍射光学元件的衍射效率通用表达式，提出了光束斜入射情形的衍射效率的提高措施。采用单层衍射光学元件的分析模型，研究了多层衍射光学元件的温度特性和色散特性。采用扩展的标量衍射理论研究了多层衍射光学元件的表面微结构高度的优化分析过程，以及光波的标量衍射理论在分析多层衍射光学元件的局限性。 基于多层衍射光学元件位相延迟表达式，研究了多层衍射光学元件的设计方法和优化设计过程。利用两种或两种以上具有不同色散特性的基底材料相互配合、依据光学材料中的光学常数对分离型和密接型多层衍射元件的材料选择和设计过程进行分析。考虑影响折衍射混合系统成像质量的带宽积分平均衍射效率最大化的设计思想，研究了多层衍射光学元件的最优化设计方法，并利用折射率柯西色散近似公式，对多层衍射光学元件的设计过程进一步简化，给出了最优化设计和材料选择原则。采用综合带宽积分平均衍射效率的定义对一个工作于双波段的多层衍射光学元件的优化设计进行了研究，并给出了优化设计过程和分析结果。 最后，根据薄透镜的三级像差理论，运用消色差的双胶合透镜的成像原理，对消色差的折衍射混合单透镜进行了设计。结合多层衍射光学元件的带宽积分平均衍射最大化原则确定出设计波长和设计级次，研究了多层衍射光学元件的单色像差校正问题，以及单个多层衍射光学元件在红外双波段成像光学系统中的应用。应用上述多层衍射光学元件给出了一个长焦距复消色差望远物镜和一个多层衍射光学元件应用于红外双波段的消热差和消色差的设计实例。 关键词：衍射光学 光学设计 多层衍射光学元件 衍射效率 折衍射混合光学系统  ABSTRACT Diffractive optics is one of the hot research fields in the optical sciences, and the technology for the multilayer diffractive optical elements (MLDOEs) is a signifi