原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
cmos器件co!射线电子和质子电离辐射损伤比较!-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
(( ’$$% ， ， ，
31 /(( N1 / RSK ’$$%
（ ）
#$$$8’)$I’$$%I(( $ I(4%8$% 70+7 P5QF-07 F-N-07 #’$$% 0A;? / PAKL / F1D /
!#$ 器件% !’ 射线、电子和
!
质子电离辐射损伤比较!
!
何宝平 陈 伟 王桂珍
（西北核技术研究所，西安 #$%# ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
’$$( ) ’* ’$$% # #
利用+,-.)( 蒙特卡罗软件计算了质子在二氧化硅中的质量阻止本领和能量沉积，比较了质子在二氧化硅中
的电离阻止本领与核阻止本领，分析了质子在材料的表面吸收剂量与灵敏区实际吸收剂量的关系/ 利用%$ 01 射
!
线、 电子和 — 质子对 和 器件进行辐照实验，比较%$ 射线和带电粒子的电离辐射
#.23 ’ ) .23 004$$,5 004$## 01 !
%$
损伤情况 实验结果表明， 射线、 电子和 — 质子辐照损伤效应中，在 栅压下可以相互等效；在
/ 01 ! #.23 ’ .23 $3
%$ %$
栅压下，以 射线损伤最为严重， 电子的辐射损伤与 射线差别不大， 以下质子辐射损伤总
(3 01 ! #.23 01 ! ).23
是小于%$ 01 射线，能量越低，损伤越小/
!
关键词： 射线，电子，质子，辐射损伤
!
： ，
()!! %#*$6 %#$7
0.EF 器件辐照实验描述情况/
表 不同 器件对应的辐照射线能量
#C 引 言 # 0.EF
辐照射线类型 加固型004$$,5 器件 非加固004$## 器件
多年来，人们一直是利用%$ 射线对预定用 质子能量 ，和 ，和
文档评论（0）