离轴非球面的计算全息图高精度检测技术-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０４０７０９０８ 　 离轴非球面的计算全息图高精度检测技术 ， ， １２ １２ １ １ １ １ 黎发志 ，罗 霄 ，赵晶丽 ，薛栋林 ，郑立功 ，张学军 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术 １． 重点实验室，吉林 长春 ； 中国科学院 研究生院，北京 ） １３００３３２． １０００３９ 摘要：为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验，提出了一种使用计算全息图（ ）技术实现离轴非球面 ＣＧＨ 高精度光学检测的方法。将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行 ＣＧＨ补偿检测设计，从而减小了检测光路 的相对口径和ＣＧＨ所需补偿像差，提高了 ＣＧＨ检测精度。使用 自行开发的 ＣＧＨ专用设计计算软件，设计完成的 ＣＧＨ同时具有非球面检验、检测光路对准、被检非球面基准定位等多项功能。采用该方法设计（设计精度优于 ／ ）并制作 对面形精度优于 ／ 的离轴非球面进行了检测，误差分析表明，其检测精度优于 ／ λ１００００ｒｍｓ ＣＧＨ λ５０ｒｍｓ λ ，与传统 方法的检测结果精确吻合。实验表明，采用该 可同时实现离轴非球面位置高精度定位、 １００ ｎｕｌｌｌｅｎｓ ＣＧＨ ＣＧＨ 与干涉仪对准以及离轴非球面高精度面形检验。 关 键 词：计算全息图；衍射光学元件加工；离轴非球面；光学检测 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＱ１７１．６５Ｏ４３８．２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０７０９ 　　 　　 犜犲狊狋狅犳狅犳犳犪狓犻狊犪狊犺犲狉犻犮狊狌狉犳犪犮犲狊狑犻狋犺犆犌犎 狆 ， ， １２ １２ １ １ １ １ ， ， ，