大加减速轴向移动系统振动控制.doc

大加减速轴向移动系统的振动控制 刘 屿，翁 轩，吴忻生，刘伟东 （华南理工大学 自动化科学与工程学院，广东 广州 510640） 摘要：针对具有大加减速轴向移动结构，为抑制结构振动和避免控制溢出，采用广义Hamilton原理建立了结构无限维模型，并基于该无限维模型，运用边界控制技术和Lyapunov直接法设计了边界控制器，用于轴向移动结构的振动主动控制。所设计边界控制器避免了控制溢出问题，并能保证控制系统的稳定性和一致有界性。仿真结果表明，文中边界控制方法能有效抑制结构的振动。 关键词：大加减速；轴向移动结构；边界控制；稳定性 中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号: 引 言 轴向移动结构被广泛的应用于高速高精度电子制造装备。然而装备中轴向移动结构的弹性变形将产生振动现象，振动则是在时间和空间尺度方面都将直接制约装备的生产性能[1-2]。因此，如何快速地消除精密电子制造装备中轴向移动结构的振动现象，已成为制约精密电子制造，特别是集成电路(IC)封装工序的瓶颈问题。 轴向移动结构是一类具有强耦合、非线性和无穷维的典型分布参数系统，因此对其控制策略设计具有很大的难度，传统的控制方法大多采用降阶模型进行控制设计，但仅对几个关键模态进行控制时，未建模高频模态有可能导致溢出效应，从而影响系统的稳定性，同时若需提高控制精度，则控制器阶数也将随柔性模态的增加而增加，因此从工程角度很难实现[3-4]。边界控制因其能避免控制溢出和易构造Lyapunov函数等独特优势而非常适合柔性结构的振动主动控制[5-7]。近年在轴向移动结构振动控制方面的研究成果[8-11]将边界控制、自适应和Lyapunov直接法等相结合，基于结构无限维模型直接进行振动主动控制设计，取得较好效果并避免了溢出问题。然而，目前国内外研究成果都假设轴向移动结构的运动为匀速运动，这显然只考虑了其中最为简单的运动方式，因为绝大多数轴向移动结构的运动不仅是变速运动，通常还是大加减速和高速运动，结构具有很强的几何非线性特性[12]。因此，目前国内外关于轴向移动结构的动力学模型以及振动主动控制方法都很难适用于大加减速轴向移动结构的振动控制。 传统的直线/指数加减速在系统启动和结束时存在加速度突变，易产生冲击，柔度差。而S曲线加减速通过对启动阶段加速度的衰减来保证电机的性能和减小冲击，具有较好的柔度，因此在高速高精密电子制造装备中得到广泛的应用。表面贴装技术, , 。 图1 贴片机(SMT)中典型的轴向移动系统 Fig.1 A typical axially moving system of SMT 图1为SMT中典型轴向移动系统。坐标系原点O位于其左轮端，借鉴文献[13]的处理方式，将整个轴向移动结构划分为控制段L和未控制段L1，控制输入U(t)作用于控制段L的右端，且方向向上，未控制段的振动对控制系统的影响视为末端扰动d(t)作用于控制器，w(x,t)为t时刻在轴向移动结构位置x处的偏移量。 轴向移动系统的运动方程可由广义Hamilton原理表示为[14] (1) 其中δ为变分操作符，t1和t2为两时刻，t1tt2为操作时间段，Ek和Ep分别为动能和势能项，δWc为非保守力做的虚功，δWb为右边界虚拟动量。 轴向移动结构的动能Ek可表示为 (2) 其中m为结构单位长度质量，速度v（即v(t)）为 (3) 其中v0为初始速度，a (即a(t))为加速度。 轴向移动结构的势能Ep可表示为 (4) 其中结构的变张力T可表示为[10] (5) 其中常数T0为结构未扰动情况下的张力ε可表示为 (6) 结构右边界非保守力所做虚功δWc可表示为 (7) 其中常数c为轴向移动结构的粘性阻尼系数，U和d分别为U(t)和d(t)的简写。 结构右边界处的虚拟动量δWb可表示为 (8) 将式(2)、(4)、(7)和(8)带入式(1)中，并应用变分和分部积分可得轴向移动系统的控制方程 (9) 其中((x, t)((0, L)×[0, +∞)。 则轴向移动系统的边界条件为 (10) 其中(t([0, +∞)1 对于结构运动速度v(t)、加速度a(t)和末端扰动d(t)，若存在常数a1, a2, a3∈R+，使得0≤v(t)≤a1, (a(t)(≤a2, (d(t)(≤a3, (t([0,+∞)。该假设是合理的，因为v(t)和d(t)为具有有限能量的连续函数，因此它们是有界的[8-10] 。 2 控制器设计 为了抑制轴向移动结构因末端未知扰动引起的振动，本文利用Lyapunov直接法在结构右边界构造一个边界控