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北京科技大学 溅射镀膜技术
* 目前,SEM已经成为材料研究的重要(最重要)工具。 与光学显微镜相比,两个特点: 1)放大倍率范围大(10-100,1000),相对光镜 的约2000倍 2)景深提高约300倍 * 目前,SEM已经成为材料研究的重要(最重要)工具。 与光学显微镜相比,两个特点: 1)放大倍率范围大(10-100,1000),相对光镜 的约2000倍 2)景深提高约300倍 * X-射线分为: 荧光x-射线(特征谱),与元素有关, 用于分析成分,即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二: 1)EDX: 用检测器 限于分析11(Na)或5(B)号以上元素, 灵敏度达0.1%,有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2)WDX:用检测器 可分析11(Na)或5(B)号以上元素, 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析速度慢 * 目前,SEM已经成为材料研究的重要(最重要)工具。 与光学显微镜相比,两个特点: 1)放大倍率范围大(10-100,1000),相对光镜 的约2000倍 2)景深提高约300倍 * X-射线分为: 荧光x-射线(特征谱),与元素有关, 用于分析成分,即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二: 1)EDX: 用检测器 限于分析11(Na)或5(B)号以上元素, 灵敏度达0.1%,有时相近元素峰峰相互重叠。 分析速度快 2)WDX:用检测器 可分析11(Na)或5(B)号以上元素, 灵敏度达0.01%。可分辨相近元素 分析速度慢 * X-射线分为: 荧光x-射线(特征谱),与元素有关, 用于分析成分,即电子探针功能 连续谱 X-射线的检测方法有二: 1)EDX: 用检测器 限于分析11(Na)或5(B)号以上元素,
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