6.3厚度检测6.3.电容测厚仪.ppt

　　2） 误差补偿 　　（1） 位置测量误差的主要来源如下：  　　① 测量系统带来的误差：包括标尺误差和细分误差。 标尺误差，如光栅系统的标尺光栅误差，感应同步器定尺零位误差；细分误差指数字系统细分标尺一个周期时的内插误差。 　　② 阿贝误差： 阿贝原理指出 “只有当被测量轴线与基准轴线重合， 或在其延长线上时， 由于导轨的直线度或间隙引起的测量误差为最小”。 由于位置测量系统是作为基准安装在机床、 仪器或机械上的， 因此， 必然存在阿贝误差。  　　③ 机械变形误差：由于机械的刚性（包括接触刚性）不足，产生变形误差，该项误差常常在阿贝误差中综合反应出来。 　　④ 热误差： 该误差是由于测量标尺材料和被测工件材料不同， 且存在温度差(温度梯度)和温度偏离标准恒温20℃引起的。 除非是局部热温度影响， 一般情况热误差是线性误差。 　　（2） 位置测量误差补偿方法 　　位置测量精度的上限取决于机械(几何精度、刚性)、测量系统(精度、安装位置)和温度因素。 即使不考虑温度的影响， 要达到5 μm/1000 mm的位置准确度也是很难的，因这时阿贝误差的影响已很明显。对普通精度的机械无需加补偿。 而要求有足够重复精度的，必须进行补偿才能实现。一般说补偿脉冲的当量应该与重复误差值相当。例如，在进行位置测量时， 两次测量的对应点差值和回零误差如果是2 μm的话， 则补偿脉冲当量可取为2 μm。 6.2.3 数显表 　　1. 光栅数显表 　　光栅测量系统， 主要是用长光栅作为检测元件的直线位置测量系统，用圆光栅测角系统和测量圆的分度。 圆光栅配以齿轮、齿条或摩擦轮等， 也可以用于长度测量系统。 不论是长光栅测量系统， 还是圆光栅测量系统， 数显表的基本构成是类似的。  　　1） 光栅数显表的基本构成 　　如图6-23所示为光栅数显表的基本原理框图。一般光栅数显表的主要组成部分有：细分电路，方向判别电路（辨向电路），计数、显示电路，绝对零位电路，功能电路。 图6-23 光栅数显表的基本原理框图 　　2） 光栅数显表的基本电路 　　目前， 光栅传感器的输出信号通常有两种：第一种是相位差为90°的两路方波信号，根据激励源的幅值不同，又分为3～5 V和10～12 V两种；第二种是相位依次相差90°的四路正弦波信号，幅值为1 Vp-p，除此之外，还有一个绝对零位脉冲信号输出。它通常是一个脉宽略窄于光栅栅距的矩形波。上述信号分别由方向判别和细分电路进行处理。  　　（1） 辨向电路：光栅传感器的信号可表示为 （6-3） 图6-24 方向判别电路原理 　　（2） 细分电路： 光栅传感器的栅距比感应同步器的周期、 磁栅的波长要小得多。 目前， 常用的长光栅的栅距是0.04 mm、 0.02 mm、 0.01 mm和0.008 mm， 相当于25线/mm、 50线/mm、 100线/mm和125线/mm； 圆光栅的线纹数为129～250、 600线/周。 虽然光栅有很高的刻线密度， 但是在高精度的测量中， 要求获得更高的分辨率。 虽然可以采用更小的光栅节距来实现， 但是这种方法在技术上难点较多， 在经济上也是不合算的。 因此， 采用电子技术对光栅莫尔条纹进行细分来提高分辨率是目前应用最广的方法， 经细分后， 在相同的工作速度下， 计数脉冲的频率相应地提高了， 故习惯上又称为倍频。 　　电子细分技术的基本原理是正/余弦信号组合技术。 由光源、 光栅副、光电元件和前置放大器组成的光栅读数头输出的信号可以写成正/余弦函数， 将它们进行不同的组合可以构成多种细分方案。主要有：直接细分，一般为四倍频细分；电桥细分与电位器链细分，对光栅输出信号要求严格，且消耗一定的功率； 复合细分，细分数可以做到40～80，有较高的细分精度， 但是电路比较复杂； 相位调制细分， 细分数可以很高， 通常为200～1000， 但对电路中的滤波器有相应的要求； 锁相倍频， 在实现高细分数时有明显的优越性。 带有单片机的数显表， 还可用软件实现任意的细分数。 　　最简单的方法是通过四相光电元件获得的四路相位差依次为90°的正弦信号， 是早期采用的细分方法， 目前仍广泛应用于光栅测量系统中。 对于25线/mm的光栅， 其分辨力为0.04 mm， 四倍频细分后可得到0.01mm的数字读数（分辨力）。 　　典型的四倍频细分电路如图6-25所示。 图6-25 四倍频细分和辨向电路 （a） 电原理图； （b） 波形图 　　SB5027采用40/44脚QFP、 DIP及PLCC封装形式， 能输出5位数码和14位符号的距离、 状态信息， 可进行人机对话。 SB5027内部集成有中央处理器、 存储器、 日历、 分频器、 比较器、 标准40 kHz超