TCR矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响-激光与红外.PDF

第４４卷　 第６期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．６ 　 ２０１４年６月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｎｅ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）０６０６２９０４ ·红外技术及应用 · ＴＣＲ矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响 １，２ １ ２ 邱宇峰 ，金　晶 ，翟厚明 （１上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系，上海２０００７２； ２中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室，上海２０００８３） 摘　要：ＶＯ 薄膜的电阻温度系数ＴＣＲ（ＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＣｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｏｆＲｅｓｉｓｔａｎｃｅ，用 表示）随温 ２ α 度改变会发生显著变化。因此，以ＶＯ 薄膜为热敏材料的非制冷探测器微桥像元采用１／Ｒ— ２ ２ （－Ｉ）曲线来测量微桥热导时，如果使用固定ＴＣＲ数值，必然会对测量结果带来偏差。本文 α 采用ＴＣＲ逐点矫正的方法测量了非制冷微桥热导，并分析了有效热导，实验中的最大热导矫 正率达到２００８％。采用本方法可使非制冷探测器微桥的热导测试结果更为准确，也更具有 实际应用价值。 关键词：非制冷探测器；热导；有效热导；电阻温度系数；微桥 中图分类号：ＴＮ２１９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．０６．００８ ＥｆｆｅｃｔｏｆＴＣＲｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｏｎｍｉｃｒｏｂｒｉｄｇｅｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔａｎｃｅ ｔｅｓｔｆｏｒｕｎｃｏｏｌｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒｓ １，２ １ ２ ＱＩＵＹｕｆｅｎｇ ，ＪＩＮＪｉｎｇ，ＺＨＡＩＨｏｕｍｉｎｇ （１ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＭａｔｅｒｉａｌｓ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００７２，Ｃｈｉｎａ； ２ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｆｒａｒｅｄＩｍａｇｉｎｇＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＤｅｔｅｃｔｏｒｓ，ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００８３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴＣＲ（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｏｆｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ，）ｏｆｔｈｅＶＯｔｈｉｎｆｉｌｍｃｈａｎｇｅｓｗｉｔｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＳｏｗｈｅｎｔｈｅ α ２ ｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔａｎｃｅｏｆＶＯ ２ ｍｉｃｒｏｂｒｉｄｇｅｐｉｘｅｌｉｓｔｅｓｔｅｄｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅ１／Ｒ（－Ｉ）ｃｕｒｖｅｍｅｔｈｏｄ，ｃｅｒｔａｉｎｄｅｖｉａｔｉｏｎｏｃ