蓝宝石晶圆平坦度量测技术.PDF

藍寶石晶圓平坦度量測技術 張柏毅 黃仲寧 量測中心 量測中心 poychang@itri.org.tw CharlieHuang@itri.org.tw 摘要 本文提出一個藍寶石晶圓全域平坦度量測方法，此方法以條紋反射法為基礎，利用高速相機擷取晶圓 以及經由晶圓表面反射之條紋影像，並以相位移及相位展開演算法提升條紋相位解析能力。為了克服 量測基準面高度不一致的問題 ，本文提出以軟體補償的方式，將拋物面高度誤差修正，可使量測到 Warp 值與 Corning Tropel Ultrasort (Tropel)量測結果差異小於 1 μm 。 關鍵字：晶圓翹曲、條紋反射法、藍寶石晶圓 壹、前言 發光二極體(LED)製程技術的演進速度已愈來愈趨近半導體摩爾定律(Moores Law)的發展腳步，目前 藍寶石基板 2 吋技術相對成熟，4 吋及 6 吋基板開發目前逐漸商品化。藍寶石基板圖形化(PSS)製程 是利用黃光微影製程於藍寶石基板上製作所需要的圖案，以台灣及韓國的生產經驗，其良率與藍寶石 基板平整度及曝光機的規格有密切關係，如平坦度 1 μm @ 9 mm x 9 mm 曝光面積，良率可達 90 %;平坦度4 μm @ 5 mm x 5 mm 曝光面積，良率可達 90% 。因此藍寶石的翹曲量測及分類有助 於提升產線的良率以及曝光機的利用率。 常 見 藍 寶 石 晶 圓 翹 曲 量 測 方 法 有 彩 色 共 焦 法 (chromatic confocal) 以 及 波 長 掃 描 干 涉 法 (wavelength scanning interferometry)[1-7] ，彩色共焦法是利用寬頻光源經色散透鏡將不同波長聚焦 至不同焦點位置如圖 1 ，當量測晶圓表面形貌時，於對焦點位置會有最大光強的反射，反射光經由光 譜儀解析後可得知對焦於晶圓表面光的波長，利用對焦波長與高度之間的關係圖即可量測到晶圓表面 形貌 。此方法的優勢是可利用單一探頭或雙探頭模式同時獲得晶圓的上下表面形貌以及厚度的資訊， 但此量測方法為單點量測方式，欲量測整片晶圓形貌需作逐點掃描，不僅掃描時間長，資料數據亦相 當龐大，因此線上量測機台以米字型量測取代全域量測。 波長掃描干涉法如圖 2 ，其量測原理與反射儀相同，利用相機擷取晶圓表面不同波長的干涉影像， 再分別對每一畫素作波長與光強分析圖，再以 FFT 法 、曲線擬合法或相位移法來得到參考平面與晶圓 表面的距離，進而分析藍寶石表面形貌與厚度資訊 。此方法優勢在於量測單面拋光及雙面拋光藍寶石 晶圓時，光可穿透晶圓表面，因此可同時分析晶圓上表面、下表面形貌以及厚度，缺點是必須擷取多 張波長影像(上百張) ，並逐一分析各畫素干涉訊號，分析數據龐大，影響量測速度。 為了解決上述問題，本文提出以條紋反射法[8]為基礎的藍寶石表面形貌量測系統，以相機擷取多 張(八張) 晶圓條紋影像，一次分析 6 吋全域晶圓表面形貌，使得每片晶圓可於 5 秒內完成量測，並應 用相位移及相位展開演算法提升量測準確度及精度，使得量測準確度及量測精度皆小於 1 μm 。 圖 1 彩色共焦架構圖 圖 2 波長掃描干涉儀架構圖 貳、研究方法 2-1 條紋反射法原理 條紋反射法是一種量測物體表面梯度(斜率) 的量測方法，近十年發展非常快速 ，因為具備架構簡 單、高 Z 軸解析度、高重複精度且量測速度快以及對環境震動不靈敏之特性，已應用於光學鏡片量測 以及矽晶圓表面形貌量測。 圖 3 條紋反射法架構圖 條紋反射法其架構如圖 3 ，液晶顯示器置放於晶圓上方，並顯示橫向一維灰階弦波條紋影像，因 晶圓表面具鏡面之特性，相機擷取晶圓影像的同時亦可同時擷取液晶顯示器之條紋影像 ，當晶圓表面 有斜率變化 時，會使得光偏折 2 ，使得擷取到的條紋影像產生偏折 δh ，晶圓表面斜率變化與影像 偏折量之關係如式(1) 2 (1) h 2L(x,y ) sec