调制周期对犆狉犃犾／犆狉犃犾荦多层薄膜结构及耐-中国表面工程.PDF

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２６ ５ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．５ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ １０ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｏｃｔｏｂｅｒ ２０１３ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１３．０５．００４ ｊ 调制周期对 ／ 多层薄膜结构 犆狉犃犾犆狉犃犾犖 及耐腐蚀性能的影响 ， １２ １ ３ １ １ １ １ 吕艳红 ，吉 利 ，刘 流 ，李红轩 ，刘晓红 ，陈建敏 ，周惠娣 　 　 （ 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，兰州 ； 中国科学院大学，北京 １． ７３００００ ２． ； 天水师范学院 生命科学与化学学院，甘肃 天水 ） １０００４９ ３． ７４１００１ 摘 要：采用中频非平衡磁控溅射技术制备 ／ 多层薄膜，研究了调制周期对 ／ 多层 ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ 　 薄膜的微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响。研究表明： ／ 多层薄膜具有致密的层状结构。 ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ 随着调制周期的增大，薄膜应力由拉应力转变为压应力，当调制周期为 时， ／ 多层薄膜 ２８５．７ｎｍ ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ 的硬度出现了极大值。此外，调制周期对薄膜的耐腐蚀性能有显著的影响。经过 盐雾（ ）试 ９６ｈ ３．５％ＮａＣｌ 验，调制周期为 的 ／ 多层薄膜依然没有发生腐蚀现象，表明此条件下 ／ 薄膜 １４２．８ｎｍ ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ 具有优异的耐腐蚀性能。 关键词：磁控溅射； ／ ；多层薄膜；微观结构；耐腐蚀性能 ＣｒＡｌＣｒＡｌＮ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４ ＴＧ１７４．２１ Ａ １００７９２８９２０１３０５００１８０６ 　　 　 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅犳犕狅犱狌犾犪狋犻狅狀犘犲狉犻狅犱犻犮犻狋犻犲狊狅狀犛狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犆狅狉狉狅狊犻狅狀犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳